一种硒化锌靶材及其制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112342507A(43)申请公布日2021.02.09(21)申请号202010952896.9(22)申请日2020.09.11(71)申请人先导薄膜材料（广东）有限公司地址511517广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区(72)发明人文崇斌朱刘童培云余芳(51)Int.Cl.C23C14/34(2006.01)C30B29/48(2006.01)C30B35/00(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称一种硒化锌靶材及其制备方法(57)摘要本发明涉及一种硒化锌靶材的制备方法，包括以下步骤：（1）将硒化锌晶片的边角料放在石英坩埚中，将石英坩埚装入反应器，首先向反应器中通入氮气，且使得反应器内的温度升温到800~900℃，保温第一预设时间，然后切换成向反应器中通入氧气，持续通入第二预设时间，随即切换成向反应器中通入氮气，关闭加热，随炉降温，得到原料；（2）将步骤（1）得到的原料在无水乙醇中超声清洗第三预设时间，取出，干燥得到清洗料；（3）将步骤（2）得到的清洗料破碎成细粉；（4）将步骤（3）得到的细粉进行热压，出炉，卸压脱模，即得硒化锌靶材。本发明同时涉及采用上述制备方法制备得到的硒化锌靶材，本制备方法制得的硒化锌靶材纯度和密度均较高。CN112342507ACN112342507A权利要求书1/1页1.一种硒化锌靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：（1）将硒化锌晶片的边角料放在石英坩埚中，将石英坩埚装入反应器，首先向反应器中通入氮气，且使得反应器内的温度升温到800~900℃，保温第一预设时间，然后切换成向反应器中通入氧气，持续通入第二预设时间，随即切换成向反应器中通入氮气，关闭加热，随炉降温，得到原料；（2）将步骤（1）得到的原料在无水乙醇中超声清洗第三预设时间，取出，干燥得到清洗料；（3）将步骤（2）得到的清洗料破碎成细粉；（4）将步骤（3）得到的细粉进行热压，出炉，卸压脱模，即得硒化锌靶材。2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中，反应器为带有尾气吸收装置的气氛炉子。3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中，升温到800~900℃的升温速率为8~15℃/min。4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中，第一预设时间为5~10min；第二预设时间为5~10min。5.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中，第三预设时间为20~30min。6.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中，干燥操作为放入真空烘箱中，在80-100℃下烘干2-3h。7.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（3）中，破碎设备为破碎机；得到的细粉粒度为-150目。8.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（4）中，热压前还包括以下步骤：先将细粉装入石墨模具，然后将模具放入热压炉中。9.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（4）中，热压工艺为先进行预压，加压压力10～15Mpa；预压后对热压炉进行抽真空，当真空度达到10pa后，开启加热，以10～15℃/min升温至900～960℃，保温1～3h；保温15～20min后，开始加压，加压压力为40～60Mpa，保持10～20min，最后随炉降至室温。10.一种硒化锌靶材，其特征在于，该靶材采用权利要求1-9任一所述的硒化锌靶材的制备方法制备得到。2CN112342507A说明书1/4页一种硒化锌靶材及其制备方法技术领域[0001]本发明涉及一种红外材料的制备领域，特别是一种硒化锌靶材及其制备方法。背景技术[0002]随着电子信息产业的飞速发展，薄膜科学应用日益广泛。溅射法是制备薄膜材料的主要技术之一，溅射沉积薄膜的源材料即为靶材。用靶材溅射沉积的薄膜致密度高，附着性好。20世纪90年代以来，微电子行业新器件和新材料发展迅速，电子、磁性、光学、光电和超导薄膜等已经广泛应用于高新技术和工业领域，促使溅射靶材市场规模日益扩大。如今，靶材已蓬勃发展成为一个专业化产业。[0003]硒化锌，其化学式为ZnSe，分子量为144.33，为淡黄色固体化合物，不溶于水，广泛应用于激光、医学、天文学和红外夜视等领域中；硒化锌靶材的制备方法鲜有报道，目前常用CVD法制备硒化锌，然后通过套片，研磨加工等，得到红外及激光领域的硒化锌晶片，在此过程中有大量的边角料产生，只能通过回收手段，回收里面有价值的材料，造成了原料和成本的浪费。[0004]针对上述不足之处，本发明的目的在于提供一种能有效利用硒化锌边角料的硒化锌靶材及其制备方法。发明内容[0005]本发明的目的在于提供一种硒化