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一种用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置.pdf

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本发明公开了一种用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置,包括外壳,外壳的内部安装有绕膜机构,绕膜机构包括安装在外壳侧壁上的新膜固定轴,新膜固定轴的一侧下方安装有第一滚轮,第一滚轮的下方一侧安装有第二滚轮,第二滚轮的下方一侧安装有第五滚轮,第五滚轮的一侧安装有第六滚轮,第五滚轮的另一侧安装有第七滚轮,第七滚轮的一侧安装有第八滚轮。该用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置中,通过多组滚轮的设计,可以兼容多种膜的贴膜装置,本装置既可以使用普通兰膜,也可以使用UV膜,还可以使用预切割膜和DAF膜,使一条生产线只需要1台贴膜装置就可以完成不同产品使用不同切割膜的切换,同时简化了换膜的方式,节省了换膜的时间。