内容提供者
一种晶圆贴膜机的贴膜切割装置.pdf
2023-04-20
10金币
373KB
6页
Jo****34
实名认证
内容提供者
1/6
2/6
3/6
4/6
5/6
6/6
在线预览结束，喜欢就下载吧，查找使用更方便
相关资料
一种晶圆贴膜机的贴膜切割装置.pdf
本实用新型属于晶圆贴膜切割设备的技术领域,具体为一种晶圆贴膜机的贴膜切割装置,所述的机架上间隔开设有两组安装槽,两组所述的安装槽内均固定连接有升降伸缩杆,所述的升降伸缩杆伸出端固定连接有升降板,所述的升降板上固定连接有轴承,所述的轴承内圈固定连接有割刀支架,所述的机架上转动连接有与轴承内圈固定连接的辅助伸缩杆,所述的辅助伸缩杆由动力装置驱动,所述的割刀支架上沿周向间隔固定连接有两组割刀本体,所述的升降板上设有与贴膜配合的辅助压膜装置。
2023-04-20
10
373KB
晶圆贴膜方法及晶圆贴膜装置.pdf
本发明公开了一种晶圆贴膜方法，其特征在于，向晶圆与台盘之间吹入气体，利用吹入的气体支撑晶圆，然后在晶圆表面贴膜。使用本发明中的晶圆贴膜方法及贴膜装置，实现了非接触贴膜，减小了损坏晶圆正面的风险。由于在滚轮按压时，可以利用气体支撑晶圆，以此可以抵消滚轮的压力，滚轮不会轻易将晶圆压破或压碎；因此，使用本发明中的方法及装置进行非接触贴膜，可以贴膜的晶圆最小厚度为50μm，远低于使用现有技术贴膜的最小厚度200μm。
2023-10-21
10
577KB
一种晶圆贴膜机.pdf
本发明涉及机械设备的技术领域，特别是涉及一种晶圆贴膜机，其通过对晶圆进行自动贴膜处理，可提高晶圆贴膜工作的自动化程度，节省人力，简化贴膜方式，提高工作效率，提高实用性和可靠性；包括工作台、四组支腿、两组第一弓形架、圆形导气仓、两组空心轴和第一电机，工作台的左侧设置有上下贯穿的通槽，工作台的顶部右侧设置有薄膜输送装置、薄膜输送装置的前侧设置有推动装置，推动装置的右后侧设置有切割装置，四组支腿的顶部均匀安装在工作台的底部外侧。
2023-06-04
10
618KB
适于为超薄晶圆贴膜的贴膜方法及贴膜装置.pdf
本发明公开了一种适于为超薄晶圆贴膜的贴膜方法，其特征在于，在贴膜时，提供一压力将晶圆推向薄膜，使薄膜与晶圆粘贴在一起。本发明中的适于为超薄晶圆贴膜的贴膜方法及贴膜装置，采用对晶圆施加压力，使其贴向薄膜。晶圆受到的压力可以将晶圆与薄膜牢固粘贴在一起。在贴膜时，薄膜可以为晶圆提供支撑力，防止晶圆变形过大而破裂。因此，利用本发明方法和装置贴膜，可有效避免超薄晶圆破裂的问题。
2023-05-28
10
572KB
一种用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置.pdf
本实用新型公开了一种用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置,包括外壳,外壳的内部安装有绕膜机构,绕膜机构包括安装在外壳侧壁上的新膜固定轴,新膜固定轴的一侧下方安装有第一滚轮,第一滚轮的下方一侧安装有第二滚轮,第二滚轮的下方一侧安装有第五滚轮,第五滚轮的一侧安装有第六滚轮,第五滚轮的另一侧安装有第七滚轮,第七滚轮的一侧安装有第八滚轮。该用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置中,通过多组滚轮的设计,可以兼容多种膜的贴膜装置,本装置既可以使用普通兰膜,也可以使用UV膜,还可以使用预切割膜和DAF膜,使一条生产线只需要1
2023-05-24
10
648KB