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(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115831776A(43)申请公布日2023.03.21(21)申请号202211612938.X(22)申请日2022.12.15(71)申请人湖南越摩先进半导体有限公司地址412000湖南省株洲市株洲云龙示范区云龙大道1288号创客大厦四楼A151室(72)发明人熊湘锋(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司11332专利代理师王士强(51)Int.Cl.H01L21/56(2006.01)H01L21/60(2006.01)H01L23/31(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图5页(54)发明名称芯片封装方法及封装结构(57)摘要本发明属于半导体制造技术领域,公开了芯片封装方法及封装结构。该芯片封装方法包括步骤:S1、光刻,在玻璃片上光刻形成刻蚀区;S2、粘贴,在晶圆的引线管脚上粘贴UV膜;S3、连接,晶圆表面在设有感光区的一侧与玻璃片连接形成结合层,且使感光区和UV膜均与刻蚀区相对;S4、切割,将玻璃片位于引线管脚上方的部分切割去除,以使引线管脚外露;S5、划片,将结合层划片成独立的芯片单元;S6、去膜,将UV膜从引线管脚上去除;S7、接线,从引线管脚上引出金线,并使金线与基板电连接;S8、塑封,沿芯片单元外周涂覆塑封胶。通过本发明,降低芯片的封装难度;避免玻璃片发生倾斜,导致感光区的光路径偏移;避免污染金线和感光区,提升封装质量。CN115831776ACN115831776A权利要求书1/1页1.芯片封装方法,其特征在于,包括步骤:S1、光刻,在玻璃片上光刻形成刻蚀区;S2、粘贴,在晶圆的引线管脚(120)上粘贴UV膜(60);S3、连接,所述晶圆表面在设有感光区(110)的一侧与所述玻璃片连接形成结合层,且使所述感光区(110)和所述UV膜(60)均与所述刻蚀区相对;S4、切割,将所述玻璃片位于所述引线管脚(120)上方的部分切割去除,以使所述引线管脚(120)外露;S5、划片,将所述结合层划片成独立的芯片单元(100);S6、去膜,将所述UV膜(60)从所述引线管脚(120)上去除;S7、接线,从所述引线管脚(120)上引出金线(300),并使所述金线(300)与基板(10)电连接;S8、塑封,沿所述芯片单元(100)外周涂覆塑封胶。2.根据权利要求1所述的芯片封装方法,其特征在于,步骤S5还包括:S51、清理,对所述结合层划切面的残余毛刺进行清理。3.根据权利要求1所述的芯片封装方法,其特征在于,步骤S8后还包括以下步骤:S9、植球,在所述基板(10)远离所述芯片单元(100)的一侧植球回流,形成微凸点。4.根据权利要求3所述的芯片封装方法,其特征在于,步骤S9后还包括以下步骤:S10、电连接,通过所述微凸点使所述基板(10)焊接在PCB板(20)上。5.根据权利要求1所述的芯片封装方法,其特征在于,步骤S4中通过激光切割或刀片划切进行切割。6.根据权利要求1所述的芯片封装方法,其特征在于,步骤S3通过范德华力使所述晶圆的表面与所述玻璃片压合连接形成结合层。7.根据权利要求1所述的芯片封装方法,其特征在于,步骤S3通过键合胶使所述晶圆的表面与所述玻璃片胶合连接形成结合层。8.封装结构,其特征在于,基于如权利要求1‑7任一项所述的芯片封装方法,包括:芯片单元(100),所述芯片单元(100)上设有感光区(110);玻璃载体(200),所述玻璃载体(200)上设有连接凸台(210)和由所述连接凸台(210)围设形成的避让槽(220),所述避让槽(220)与所述感光区(110)相对设置,所述连接凸台(210)与所述芯片单元(100)设有感光区(110)的一面连接;引线管脚(120),设于所述芯片单元(100)的两端,所述引线管脚(120)通过金线(300)与所述基板(10)电连接;封胶部(400),环设于所述玻璃载体(200)和所述芯片单元(100)的外周。9.根据权利要求8所述的封装结构,其特征在于,所述连接凸台(210)通过压接或胶接与所述芯片单元(100)连接。10.根据权利要求8所述的封装结构,其特征在于,所述基板(10)远离所述芯片单元(100)的端面与PCB板(20)焊接。2CN115831776A说明书1/5页芯片封装方法及封装结构技术领域[0001]本发明涉及半导体制造技术领域,尤其涉及芯片封装方法及封装结构。背景技术[0002]芯片封装技术就是将内存芯片包裹起来,以避免芯片与外界接触,防止外界对芯片的损害的一种工艺技术。空气中的杂质和不良气体,乃至水蒸气都会腐蚀芯片上的精密电路,进而造成电学性能下降。不同的封装技术在制造工序和工艺方面差异很大,封装后对内存芯片自身性能的发挥也起到至关重要的作用。[0003]现有技术方案