一种PERC电池背面多层膜结构及其制备方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115842061A(43)申请公布日2023.03.24(21)申请号202111097271.XC23C16/40(2006.01)(22)申请日2021.09.18(71)申请人韩华新能源（启东）有限公司地址226200江苏省南通市启东经济开发区林洋路888号(72)发明人戴燕华沈柔泰赵福祥(74)专利代理机构苏州创元专利商标事务所有限公司32103专利代理师俞春雷(51)Int.Cl.H01L31/0216(2014.01)H01L31/068(2012.01)H01L31/18(2006.01)C23C16/02(2006.01)C23C16/34(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称一种PERC电池背面多层膜结构及其制备方法(57)摘要本发明公开了一种PERC电池背面多层膜结构及其制备方法，包括由内向外依次设置在硅片背面的第一富氢层、第一氧化硅层、氧化铝层及氮化硅层，所述硅片为p型硅，所述第一富氢层通过通入水蒸气并用等离子体增强化学气相沉积的方法得到氢的等离子体。本发明的一种PERC电池背面多层膜及其制备方法，通过在硅片背面制备第一富氢层以提升电池的体钝化效应，并在第一富氢层之后沉积一层第一氧化硅层，用于减少硅片背面由于等离子体的轰击导致的缺陷密度，增加硅片背面的化学钝化的效果，有利于提高电池开路电压和短路电流，从而实现PERC太阳能电池的转换效率的提升。CN115842061ACN115842061A权利要求书1/1页1.一种PERC电池背面多层膜结构，其特征在于，包括由内向外依次设置在硅片背面的第一富氢层、第一氧化硅层、氧化铝层及氮化硅层，所述硅片为p型硅，所述第一富氢层通过通入水蒸气并用等离子体增强化学气相沉积的方法得到氢的等离子体。2.根据权利要求1所述的一种PERC电池背面多层膜结构，其特征在于，所述氧化铝层与所述氮化硅层之间设置有第二富氢层。3.根据权利要求2所述的一种PERC电池背面多层膜结构，其特征在于，所述第二富氢层与所述氮化硅层之间设置有第二氧化硅层和/或氮氧化硅层。4.根据权利要求1所述的一种PERC电池背面多层膜结构，其特征在于，制备所述第一富氢层的方法为：将退火后的硅片置入沉积设备中，将腔体温度加热到250‑350℃，抽真空到100‑2000mToor，通入水蒸气，打开射频电源，制备得到第一富氢层。5.根据权利要求3所述的一种PERC电池背面多层膜结构，其特征在于，所述第一富氢层、第一氧化硅层、氧化铝层、第二富氢层、第二氧化硅层、氮氧化硅层及氮化硅层为单层或多层结构。6.根据权利要求5所述的一种PERC电池背面多层膜结构，其特征在于，所述第一富氢层、第一氧化硅层、氧化铝层、第二富氢层、第二氧化硅层、氮氧化硅层均为单层结构，所述氮化硅层为多层结构。7.根据权利要求6所述的一种PERC电池背面多层膜结构，其特征在于，所述第一氧化硅层的厚度范围为1‑2nm，所述氧化铝层的厚度范围为5‑15nm，所述第二氧化硅层的厚度范围为3‑8nm，所述氮氧化硅层的厚度范围为15‑25nm，所述氮化硅层的总厚度范围为50‑80nm。8.一种如权利要求1～7任意一项所述的一种PERC电池背面多层膜结构的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：将退火后的硅片置入沉积设备中，在硅片的背面由内向外依次制备第一富氢层、第一氧化硅层、氧化铝层、第二富氢层、第二氧化硅层和/或氮氧化硅层、氮化硅层。9.根据权利要求8所述的一种PERC电池背面多层膜结构的制备方法，其特征在于，制备所述第一富氢层的方法为：将退火后的硅片置入沉积设备中，将腔体温度加热到250‑350℃，抽真空到100‑2000mToor，通入水蒸气，打开射频电源，制备得到第一富氢层。10.根据权利要求9所述的一种PERC电池背面多层膜结构的制备方法，其特征在于，所述水蒸气需要通过N2携带进入反应腔体内，所述N2的流量为2‑10slm；所述射频电源的射频功率为10‑15kW，占空比为8:15‑12:60，运行时间为10‑20s。2CN115842061A说明书1/5页一种PERC电池背面多层膜结构及其制备方法技术领域[0001]本发明属于光伏组件技术领域，具体涉及一种PERC电池背面多层膜结构及其制备方法。背景技术[0002]一般地，PERC(PassivatedEmitterandRearCell)太阳能双面电池的钝化主要包括体钝化、场钝化以及化学钝化。传统的电池背面钝化膜的膜层结构为氧化铝层加氮化硅层。在P型硅中之所以用氧化铝作为钝化膜层，是因为氧化铝表面的固定电荷为负电荷，其能够在PERC电池背面形成很好的场钝化效应，从而提升PERC电池的转换效率，但它对于提升电池背面的体