一种直推式晶圆分选机及其晶圆分选工艺.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115837358A(43)申请公布日2023.03.24(21)申请号202211595798.X(22)申请日2022.12.13(71)申请人深圳市优界科技有限公司地址518000广东省深圳市龙华区观澜街道凌屋工业路9号(72)发明人卢国强郑灿升王勇王俊涛(51)Int.Cl.B07C5/00(2006.01)B07C5/02(2006.01)B07C5/38(2006.01)H01L21/67(2006.01)权利要求书2页说明书10页附图13页(54)发明名称一种直推式晶圆分选机及其晶圆分选工艺(57)摘要本发明公开了一种直推式晶圆分选机及其晶圆分选工艺，包括水平设置的机台以及设置在机台上的料盒，料盒包括至少两个，至少两个料盒的顶部为开放面，还包括载盘搬运机构及晶圆转移机构；晶圆转移机构包括至少两组，至少两组晶圆转移机构设置在料盒的侧部；载盘搬运机构架设载料盒及晶圆转移机构上；晶圆转移机构包括晶圆承载组件、晶圆转移组件、检测组件及转移组件，晶圆承载组件及晶圆转移组件间隔设置；检测组件及转移组件分别设置在载晶圆承载组件及晶圆转移组件的侧部；检测组件从外侧抵住承载转盘的接晶粒部位。本发明采用近间隙竖向插装载盘，实现了自动检测及晶圆转移承载于一体，通过顶针直推实现晶粒快速转移，有效提升晶圆分选效率。CN115837358ACN115837358A权利要求书1/2页1.一种直推式晶圆分选机，包括水平设置的机台（1）以及设置在机台（1）上的料盒（2），料盒（2）包括至少两个，至少两个料盒（2）的顶部为开放面，其特征在于：还包括载盘搬运机构（3）及晶圆转移机构（4），其中，所述料盒（2）的两个对称设置的内侧壁上分别设有至少两条卡槽，至少两条卡槽沿竖直方向设置，并向上延伸至料盒（2）的顶部开放面处，以便上下取放晶圆载盘；所述晶圆转移机构（4）包括至少两组，至少两组晶圆转移机构（4）设置在料盒（2）的侧部；所述载盘搬运机构（3）架设载料盒（2）及晶圆转移机构（4）上，载盘搬运机构（3）从料盒（2）内取出待分选的晶圆载盘并将其搬运至晶圆转移机构（4）内，并将晶圆转移机构（4）内分选完成后的晶圆载盘搬运回料盒（2）；所述晶圆转移机构（4）包括晶圆承载组件（41）、晶圆转移组件（42）、检测组件（43）及转移组件（44），其中，所述晶圆承载组件（41）及晶圆转移组件（42）间隔设置，两者之间形成插装空间，以便分别插放承载载盘及转移载盘；所述检测组件（43）及转移组件（44）分别设置在载晶圆承载组件（41）及晶圆转移组件（42）的侧部；所述检测组件（43）从外侧抵住承载转盘的接晶粒部位，并检测转移载盘上的晶圆；所述转移组件从外侧将转移载盘上的晶粒分选转移至承载载盘上。2.根据权利要求1所述的一种直推式晶圆分选机，其特征在于：所述载盘搬运机构（3）包括机架（31）、第一直线模组（32）、第二直线模组（33）及载盘搬运组件（34），其中，所述机架（31）架设在机台（1）上；所述第一直线模组（32）水平设置在机架（31）上；所述第二直线模组（33）沿垂直于第一直线模组（32）方向连接在第一直线模组（32）的输出端；所述载盘搬运组件（34）连接在第二直线模组（33）的输出端上，载盘搬运组件（34）经第一直线模组（32）及第二直线模组（33）驱动而在水平面内沿纵向及横向方向直线运动。3.根据权利要求2所述的一种直推式晶圆分选机，其特征在于：所述载盘搬运组件（34）包括前后设置的两组夹盘部件，搬运组件（34）沿竖直方向升降运动，以便靠近料盒（2）或晶圆转移机构（4），取放晶圆载盘（0）；所述搬运组件（34）通过柔性环槽导向限位晶圆载盘（0）。4.根据权利要求1所述的一种直推式晶圆分选机，其特征在于：所述晶圆载盘（0）为板状结构，其中部为圆形的承载平面，承载平面内布设有至少两颗晶圆；所述晶圆载板（0）的外侧为刚性支撑部位，以便夹取搬运。5.根据权利要求1所述的一种直推式晶圆分选机，其特征在于：所述晶圆承载组件（41）及晶圆转移组件（42）竖直设置，晶圆承载组件（41）及晶圆转移组件（42）平行间隔设置，两者上对应开设有圆形通槽；所述晶圆承载组件（41）内竖直插设承载载盘，所述晶圆转移组件（42）内竖直插设有转移载盘，且承载载盘及转移载盘的圆形承载平面对应圆形通槽设置。6.根据权利要求1所述的一种直推式晶圆分选机，其特征在于：所述晶圆承载组件（41）包括承载部件、承载旋转部件、承载盘（416）及第一凸环（4111），其中，所述承载部件竖直设置在机台（1）上；所述承载盘（416）竖直设置在承载部件的一侧，且与承载部件的侧壁沿竖直平面方向可转动地连接；所述承载旋转部件设置在承载部件上，且输出端与承