一种LED晶圆的分选方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114146950A(43)申请公布日2022.03.08(21)申请号202111198697.4(22)申请日2021.10.14(71)申请人佛山市国星半导体技术有限公司地址528200广东省佛山市南海区狮山镇罗村朗沙广东新光源产业基地内光明大道18号(72)发明人黎银英邝浩彬陈桂飞陆绍坚(74)专利代理机构广州三环专利商标代理有限公司44202代理人胡枫李素兰(51)Int.Cl.B07C5/342(2006.01)B07C5/344(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图5页(54)发明名称一种LED晶圆的分选方法(57)摘要本申请公开了一种LED晶圆的分选方法，包括：将LED晶圆分成若干个区块，所述区块上的LED晶粒分为保留晶粒和抓取晶粒，所述保留晶粒的光电性能和晶粒数量符合预设要求，所述抓取晶粒的光电性能和晶粒数量不符合预设要求，其中，所述保留晶粒的晶粒数量比所述抓取晶粒的晶粒数量多，同一个区块上的保留晶粒的光电性能在同一个等级，不同区块上的保留晶粒的光电性能在不同的等级；去除所述区块上的抓取晶粒；将所述区块上的保留晶粒转移形成成品方片。本申请的分选效率高，成本低，适用于大批量生成。CN114146950ACN114146950A权利要求书1/1页1.一种LED晶圆的分选方法，其特征在于，包括：将LED晶圆分成若干个区块，所述区块上的LED晶粒分为保留晶粒和抓取晶粒，所述保留晶粒的光电性能和晶粒数量符合预设要求，所述抓取晶粒的光电性能和晶粒数量不符合预设要求，其中，所述保留晶粒的晶粒数量比所述抓取晶粒的晶粒数量多，同一个区块上的保留晶粒的光电性能在同一个等级，不同区块上的保留晶粒的光电性能在不同的等级；去除所述区块上的抓取晶粒；将所述区块上的保留晶粒转移，以形成成品方片。2.如权利要求1所述的LED晶圆的分选方法，其特征在于，将LED晶圆分成若干个区块的方法包括：对所述LED晶圆上完成光电测试的LED晶粒进行分级，得到分选文档；获取LED晶粒的位置信息；根据所述分选文档和位置信息将所述LED晶圆进行分区以形成所述区块。3.如权利要求2所述的LED晶圆的分选方法，其特征在于，所述分选文档包括光电参数信息、等级分类信息和分选等级信息，所述光电参数信息至少包括LED晶粒的波长参数、电压参数和亮度参数，所述等级分类信息包括等级的数量和每个等级对应的LED晶粒数量；其中，光电参数信息在同一个预设范围的LED晶粒分为同一个等级，所述LED晶粒有多个等级，不同等级的LED晶粒的光电参数信息在不同的预设范围；同一个等级的LED晶粒的数量为若干颗。4.如权利要求3所述的LED晶圆的分选方法，其特征在于，根据LED晶粒的数量从多个等级中选出若干个保留等级，其中，为所述保留等级的LED晶粒的数量达到预设值，所述区块的数量等于保留等级的数量。5.如权利要求4所述的LED晶圆的分选方法，其特征在于，每个区块上只有一个保留等级，所述保留等级对应的LED晶粒为保留晶粒，其余的LED晶粒为抓取晶粒。6.如权利要求3所述的LED晶圆的分选方法，其特征在于，所述分选等级信息包括分BIN信息，其中，将保留等级的LED晶粒设置为151BIN或以上，将其他LED晶粒设置为1～150BIN中的任意一个或几个。7.如权利要求2所述的LED晶圆的分选方法，其特征在于，根据XY轴坐标设置所述LED晶粒的位置，以获得所述LED晶粒的位置信息。8.如权利要求1所述的LED晶圆的分选方法，其特征在于，去除所述区块上的抓取晶粒的方法包括：通过分选设备将所述抓取晶粒抓取出来。9.如权利要求1或8所述的LED晶圆的分选方法，其特征在于，去除所述区块上的抓取晶粒后，将所述区块上的保留晶粒翻膜到基材上，以形成所述成品方片。10.如权利要求9所述的LED晶圆的分选方法，其特征在于，所述成品方片上的LED晶粒属于同一个等级。2CN114146950A说明书1/5页一种LED晶圆的分选方法技术领域[0001]本申请涉及发光二极管技术领域，尤其涉及一种LED晶圆的分选方法。背景技术[0002]LED晶圆在完成电性、光学特性测试后，分选设备根据待分选晶粒的等级来将LED晶圆上的晶粒一粒一粒地抓取至新的蓝膜上。具体的，待分选晶粒也是放置在蓝膜上的，分选设备在分选时，需要顶针将蓝膜上的待分选晶粒顶起来，然后通过抓取机构将待分选晶粒抓取至新的蓝膜上。其中，顶针每次只顶一颗晶粒。[0003]但随着晶粒的尺寸越来越少，一般晶圆上的晶粒数量可高达150000颗，分选设备需要6‑7小时来完成分选，不利于大批量作业。[0004]此外，由于相同尺寸晶圆上的晶粒数量变多，分选设备的顶针的顶起次数也增多，因此容易导致蓝膜被顶变