衬底处理设备.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115841971A(43)申请公布日2023.03.24(21)申请号202310075749.1F27D1/00(2006.01)(22)申请日2019.09.02F27D1/14(2006.01)(30)优先权数据16/128,2822018.09.11US(62)分案原申请数据201910822358.52019.09.02(71)申请人ASMIP控股有限公司地址荷兰阿尔梅勒(72)发明人T·奥斯特拉肯(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司31100专利代理师丁晓峰(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)H01L21/687(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图6页(54)发明名称衬底处理设备(57)摘要本发明提供了一种衬底处理设备，包括：提供了支撑表面(34)的衬底支撑件(32)，所述支撑表面用于在其上支撑衬底或衬底载体(24)；和支撑加热器(50)，所述支撑加热器被构造并被布置成加热所述支撑表面(34)。所述设备包括热屏蔽，所述热屏蔽被构造并被布置成在所述支撑表面上没有衬底或衬底载体(24)时覆盖并屏蔽所述衬底支撑件(32)。CN115841971ACN115841971A权利要求书1/2页1.一种衬底处理设备，其包括：设置有支撑表面的衬底支撑件，所述支撑表面用于在其上支撑衬底或衬底载体；热屏蔽；和支撑加热器，所述支撑加热器设置在所述支撑表面下方，所述支撑加热器被构造并且被布置成加热所述支撑表面，其中，所述热屏蔽被构造成在所述衬底支撑件与所述载体分开时选择性地覆盖所述衬底支撑件；所述热屏蔽至少部分地形成腔室，所述腔室被构造并且被布置成将所述衬底支撑件贮存在其中；所述热屏蔽能相对于所述衬底支撑件的支撑表面分开地且独立地移动。2.根据权利要求1所述的设备，其中所述设备包括凹部，所述凹部能够用所述热屏蔽关闭以形成所述腔室，所述腔室被构造并且被布置成将所述衬底支撑件贮存在其中。3.根据权利要求1所述的设备，其中所述腔室基本上是气密的。4.根据权利要求1所述的设备，其中所述屏蔽包括隔热材料，所述隔热材料热隔离所述衬底支撑件。5.根据权利要求1所述的设备，其中所述屏蔽包括上屏蔽和圆柱形侧屏蔽，所述上屏蔽和所述圆柱形侧屏蔽互连以限定大体上圆柱形的腔室，以在所述支撑表面上没有衬底或衬底载体时覆盖和屏蔽所述衬底支撑件。6.根据权利要求1所述的设备，其中，所述设备包括致动器，所述致动器被构造并且被布置成相对于彼此移动所述热屏蔽和所述衬底支撑件中的至少一个，以便在所述支撑表面上没有衬底或衬底载体时移动盖以屏蔽所述衬底支撑件。7.根据权利要求6所述的设备，其中所述设备包括升降机，所述升降机被构造并且被布置成在竖直方向上移动所述衬底支撑件。8.根据权利要求1所述的设备，其中所述衬底支撑件包括顶板、圆柱形侧板和底板，所述顶板、所述圆柱形侧板和所述底板互连以限定大体圆柱形容器；其中，所述顶板的外表面限定所述衬底支撑件的支撑表面；并且其中，所述容器限定在所述顶板和所述底板之间延伸的主体，所述主体容纳所述支撑加热器的至少一部分。9.根据权利要求8所述的设备，其中所述圆柱形容器的所述主体进一步容纳隔热材料，并且其中所述加热器的热生成部分邻近所述顶板设置，并且其中所述隔热材料设置于所述支撑加热器的所述热生成部分下方。10.根据权利要求9所述的设备，其中所述热生成部分搁置在所述隔热材料上。11.根据权利要求1所述的设备，还包括限定反应空间和开口的反应室，支撑组件经由所述开口能够至少部分地收纳在所述反应室中，使得衬底或支撑在其上的衬底载体能够收纳在所述反应空间中。12.根据权利要求11所述的设备，其中，所述设备为竖直热炉；所述反应室至少部分地由钟罩形的反应管形成，并且所述衬底支撑件经由所述反应管的下端处的开口能够至少部分地收纳于所述反应管中，使得所述支撑组件处于收纳状态时基本上关闭所述反应管的所述开口。2CN115841971A权利要求书2/2页13.根据权利要求1所述的设备，还包括衬底载体，所述衬底载体连接到所述衬底支撑件的支撑表面，并且被配置成保持至少一个衬底。14.一种衬底处理设备，其包括：设置有支撑表面的衬底支撑件，所述支撑表面用于在其上支撑衬底或衬底载体；热屏蔽；和支撑加热器，所述支撑加热器设置在所述支撑表面下方，所述支撑加热器被构造并且被布置成加热所述支撑表面，其中，所述热屏蔽被构造成在所述衬底支撑件与所述衬底载体或所述衬底分开时选择性地覆盖所述衬底支撑件；所述热屏蔽能相对于所述衬底支撑件的支撑表面分开地且独立地移动。15.根据权利要求14所述的设备，其中所述设备包括凹部，所述凹部能够用所述热屏蔽关闭以形成腔室，所述腔室被构造并且被布置成将所述衬底