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衬底升降机构及包括其的衬底处理设备.pdf

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公开了一种衬底处理设备。示例性衬底处理设备包括:反应室;位于反应室内的基座板,其构造和布置成支撑衬底,并设置有一个或多个孔;衬底升降机构,包括:支撑衬底的多个升降销;以及升降销支撑构件,用于通过一个或多个孔在竖直方向上移动升降销;衬底传送机器人,其设置有一个或多个机器人臂,以将衬底传送到升降销上方的位置;以及气体供应单元,其构造和布置成面对基座板;其中,气体供应单元构造和布置成在竖直方向上移动,从而将气体供应单元定位在反应室中的处理位置。