预览加载中，请您耐心等待几秒...

一种金属锂蒸发装置、蒸镀设备及金属锂蒸发方法.pdf

预览
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10

亲，该文档总共11页，到这已经超出免费预览范围，如果喜欢就直接下载吧～

下载提示 文本预览

如果您无法下载资料，请参考说明：

1、部分资料下载需要金币，请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档，再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压，在使用对应软件打开

本发明涉及蒸镀技术领域,公开了一种金属锂蒸发装置、蒸镀设备及金属锂蒸发方法,该金属锂蒸发装置中包括:开孔组件,开孔组件包括针体支撑板、安装于针体支撑板且与蒸发孔一一对应的开孔针;当针体支撑板处于第一工位时,每一个开孔针穿过对应的蒸发孔伸入至蒸发坩埚内以插入至蒸发坩埚内的金属锂内,当针体支撑板处于第二工位时,每一个开孔针自蒸发坩埚内脱离;用于驱动针体支撑板动作的第一驱动组件。开孔针插入锂块形成多个开孔,将开孔露出的新的表面作为蒸发表面,改善了锂块被氧化或氮化造成金属锂蒸发困难的状况,且锂块开孔露出的新的表面在正常的工艺温度下蒸发出稳定速率的金属锂,节约升温时间,提高了金属锂蒸发的均匀性。