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本发明涉及有机硅工业技术领域,为解决当前国内市场上的低黏度端功能基氟硅油品种单一(主要是羟基封端的低分子量氟硅油),且质量不佳的问题,本发明提供一种低黏度、高功能基含量、高纯度的氟硅油及其制备方法,一种氟硅油具有如(I)所示的结构式,所得产物中硅氧烷环体的含量极低、甚至为零,