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本发明提供一种晶圆无氰电镀金药液配方及其制备方法,涉及电镀金技术领域,所述晶圆无氰电镀金药液配方包括第一层膜、第二层膜和第三层膜,所述第一层膜按重量百分比包括下列组分:聚对苯二甲酸乙二醇酯70?90份,玻璃纤维10?18份,增韧剂1?3份,抗氧化剂5?7份;所述第二层膜按重量百分比包括下列组分:聚对苯二甲酸乙二醇酯50?60份,阻燃剂20?25份,稳定剂5?8份,开口剂3?6份;所述第三层膜按重量百分比包括下列组分:聚对苯二甲酸乙二醇酯80?85份。本发明通过第一层膜、第二层膜和第三层膜复合,从而制成晶圆无氰电镀金药液配方,在第一层膜中,本发明加入了玻璃纤维用来提高强度,第二层膜则具有耐火性能高的特点,而第三层膜则能够有效抑制静电,进步性显著。