预览加载中,请您耐心等待几秒...
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10

亲,该文档总共89页,到这已经超出免费预览范围,如果喜欢就直接下载吧~

如果您无法下载资料,请参考说明:

1、部分资料下载需要金币,请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档,再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压,在使用对应软件打开

本发明涉及一种抗蚀剂组合物,通过曝光产生酸、且对显影液的溶解性因酸的作用而变化。含有具有以通式(a0?1)表示的结构单元(a0)的高分子化合物(A1)、以通式(b1)表示的化合物(B1)以及以通式(d1)表示的化合物(D1)。R为氢原子等;Va01为2价的连接基团;na01为1~2的整数;Ra01为具有氰基等的含内酯环式基;Yb01为2价的连接基团或单键;Lb01为?C(=O)?O?等;Rb01~Rb03为烷基;Rb04~Rb06为烷基等;nb04为0~4的整数;nb05~nb06为0~5的整数;X?为反荷阴离子;Rd01为环式基等;Mm+为m价的有机阳离子。[化1]