一种掩模制造用新型真空系统及上下料方法.pdf

本发明属于掩模制造领域,提供了一种掩模制造用新型真空系统,包括工艺腔体,工艺腔体内设置有工件台和机械手臂,工艺腔体外侧在进出料口处设置有上下料腔体,上下料腔体通过进出料口与工艺腔体连通,进出料口设置有电控内封闭门,上下料腔体设置有与外界连通的送料口并设置有电控外封闭门;工艺腔体和上下料腔体均设置有真空调节装置。本发明同时提供了这种真空系统的上下料方法。本发明提供的掩模制造用新型真空系统及上下料方法,在工艺腔体前上下料腔体,在工艺进行过程中完成上下料真空环境的转换,减少交互对工艺的影响,整体上缩短制造用时,提高效率和产能,同时在工艺腔体内添加了预存料盒,节省工艺等待时间,进一步提高效率和产能。