一种离子束镀膜装置.pdf

本实用新型涉及离子束镀膜设备技术领域,且公开了一种离子束镀膜装置,包括镀膜室、镀膜室的底部固接有电机和与镀膜室内壁固接的离子源,所述镀膜室内部的底部转动连接有转台,所述转台的底部与电机的输出轴固接,所述转台顶部的外侧转动连接有四个动齿轮。该种离子束镀膜装置,将安装组件卡接在动齿轮上,随后将管材类工件套在安装组件外部,随后将镀膜室密封即可启动该镀膜装置,在镀膜时,电机转动带动转台转动,转台上的动齿轮也会随转台一起运动,由于动齿轮中间位置有与之啮合的定齿轮,且定齿轮与镀膜室固接,故动齿轮会在随转台一起运动的同时自动也发生转动,既能保证管材镀膜均匀,又能减少电机的使用量,降低发生故障的概率。