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本发明提供了一种MoTiNiNb靶材及其制造方法和用途。所述MoTiNiNb靶材含有10?15原子百分比的Ti,10?20原子百分比的Ni,5?10原子百分比的Nb,余量为Mo以及无法避免的杂质;所述制造方法包括以下步骤:混合Mo粉、Nb粉和NiTi粉,处理后得到所述MoTiNiNb靶材;所述制造方法通过调整Mo合金的成分配比,以及使用冷等静压、包套焊接及脱气和热等静压步骤,得到耐腐蚀、膜应力强且与Cu膜粘附性良好的MoTiNiNb靶材,适合用于显示行业。