一种MoTiNiNb靶材及其制造方法和用途.pdf
丹烟****魔王
亲,该文档总共11页,到这已经超出免费预览范围,如果喜欢就直接下载吧~
相关资料
一种MoTiNiNb靶材及其制造方法和用途.pdf
本发明提供了一种MoTiNiNb靶材及其制造方法和用途。所述MoTiNiNb靶材含有10?15原子百分比的Ti,10?20原子百分比的Ni,5?10原子百分比的Nb,余量为Mo以及无法避免的杂质;所述制造方法包括以下步骤:混合Mo粉、Nb粉和NiTi粉,处理后得到所述MoTiNiNb靶材;所述制造方法通过调整Mo合金的成分配比,以及使用冷等静压、包套焊接及脱气和热等静压步骤,得到耐腐蚀、膜应力强且与Cu膜粘附性良好的MoTiNiNb靶材,适合用于显示行业。
一种钛靶材及其制造方法.pdf
本发明涉及一种用于真空溅射镀膜的钛靶材及其制造方法,钛靶材含有Au、Cu,按质量百分比计合金组成为:0.03%>Au>0.01%、0.1%>Cu>0.07%,Fe<0.05%、0<0.04%、N<0.015%,余量为Ti。其制造方法是采用粒度在-300目至-400目的AuCu20合金粉未和1/2英寸的小规格海绵钛种钛混合后,采用电子轰击炉进行电子束冷床熔炼提纯后制成钛锭,通过机械加工方法将钛锭制成所需规格尺寸的钛靶材,采用本发明的钛靶材所制成的镀膜颜色呈金黄色,且比常规镀膜具有耐磨性强、附着力强的特点,从
靶材组件及其制造方法.pdf
一种靶材组件的制造方法,包括以下步骤:提供靶材与背板;对所述靶材的焊接面进行加工,在所述靶材焊接面的中心区域加工出第一焊接平面,并在所述第一焊接平面的周围加工出第二焊接平面,其中,所述第一焊接平面相对第二焊接平面凸出;对所述背板的焊接面进行加工,使所述背板的厚度从中心向四周逐渐减小;将所述靶材、背板焊接在一起;去除部分靶材和部分背板材料,以形成靶材组件。本发明还提供一种靶材组件,包括靶材以及背板,所述靶材的焊接面嵌入所述背板的焊接面中。本发明提供的方法进一步排出了靶材、背板之间的残留气体,提高了靶材成品率
一种高纯铜靶材的制备方法及靶材的用途.pdf
本发明公开了一种高纯铜靶材的制备方法及靶材的用途,所制备的铜靶材平均晶粒尺寸≤1μm,且分布均匀。制备步骤包括:将纯度≥4N的铜原料依次进行1)连续铸造;2)坯料切割;3)等通道侧向挤压;4)轧制;5)热处理,制得高纯铜靶材。该方法制备的高纯铜靶材具有晶粒尺寸均匀细小、取向较为一致、靶材尺寸较大且较厚等特点,可应用于大规模集成电路互连线的溅射镀膜。
一种靶材制备装置及其靶材加工方法.pdf
本发明提供了一种靶材制备装置,包括烧结炉体、复合加热模具、加压装置和加热装置,所述烧结炉体的内腔为真空或气氛保护腔体,复合加热模具置于烧结炉体的内腔内;所述复合加热模具设有内腔,被加工的靶材粉末置于复合加热模具的内腔内;所述加压装置与复合加热模具连接,且加热装置与加压装置连接,可直接对样品加热,复合加热模具可以单独加热。本发明还提供了由上述装置实现的靶材加工方法。本发明可用于制造大尺寸、高熔点、高密度及组成成分的熔点差别较大的合金靶材,同时本发明具有设备简单、烧结时间短、能量效率高、设备及模具损耗小、成本