一种钛靶材及其制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(10)授权公告号CNCN102453873102453873B(45)授权公告日2014.07.30(21)申请号201010522875.XJ.L.He，etal..Structurerefinementandhardnessenhancementoftitaniumnitride(22)申请日2010.10.26filmsbyadditionofcopper.《Surfaceand(73)专利权人宝鸡市嘉诚稀有金属材料有限公coatingstechnology》.2001,第137卷司审查员刘化然地址721013陕西省宝鸡市高新开发区高新11路中段(72)发明人张金波郑杰(74)专利代理机构西安弘理专利事务所61214代理人涂秀清(51)Int.Cl.C23C14/34(2006.01)C22C1/02(2006.01)C22C14/00(2006.01)(56)对比文件CN101736299A,2010.06.16,CN1089665A,1994.07.20,权利要求书1页权利要求书1页说明书2页说明书2页(54)发明名称一种钛靶材及其制造方法(57)摘要本发明涉及一种用于真空溅射镀膜的钛靶材及其制造方法，钛靶材含有Au、Cu，按质量百分比计合金组成为：0.03％＞Au＞0.01％、0.1％＞Cu＞0.07％，Fe＜0.05％、0＜0.04％、N＜0.015％，余量为Ti。其制造方法是采用粒度在-300目至-400目的AuCu20合金粉未和1/2英寸的小规格海绵钛种钛混合后，采用电子轰击炉进行电子束冷床熔炼提纯后制成钛锭，通过机械加工方法将钛锭制成所需规格尺寸的钛靶材，采用本发明的钛靶材所制成的镀膜颜色呈金黄色，且比常规镀膜具有耐磨性强、附着力强的特点，从而取得较强的市场竞争力和良好经济效益的作用。CN102453873BCN10245387BCN102453873B权利要求书1/1页1.一种钛靶材，其特征在于：钛靶材含有Au、Cu，按质量百分比计合金组成为：0.03%＞Au＞0.01%、0.1%＞Cu＞0.07%，Fe<0.05%、O<0.04%、N<0.015%，余量为Ti。2.权利要求1所述钛靶材的制造方法，其特征在于：钛靶材的制备工艺步骤依先后顺序为：a)选用粒度在-300目至-400目的CuAu20合金粉末，其中CuAu20合金粉末的全部物质的质量百分比含量为100%，金属Au在CuAu20合金粉末中的质量百分比为20±0.5%，余量为Cu，其他杂质在CuAu20合金粉末中质量百分比不大于0.15%；b)选用符合中国国家标准GB/T2524-2002，产品等级和牌号为0级、MHTi－100、规格为1/2英寸的小规格海绵钛；c)原料混合，将通过步骤a)、b)选用的CuAu20合金粉末、小规格海绵钛混合均匀，混合成一定量的CuAu20合金粉末和小规格海绵钛的混合物，其中CuAu20合金粉末和小规格海绵钛的混合物中CuAu20合金粉末和小规格海绵钛的质量比为1：1000；d）熔炼提纯制成钛锭，将CuAu20合金粉末和小规格海绵钛的混合物置入电子轰击炉内，通过采用电子轰击炉在真空状态下对CuAu20合金粉末和小规格海绵钛的混合物进行电子束冷床熔炼提纯后制成钛锭，其中钛锭各组成的质量百分比为，0.03%＞Au＞0.01%、0.1%＞Cu＞0.07%、Fe<0.05%、O<0.04%、N<0.015%，余量为Ti；e）将通过步骤d）制成的钛锭通过机械加工成所需规格尺寸的钛靶材。3.根据权利要求2所述的钛靶材的制造方法，其特征在于：步骤a)选用-320目的CuAu20合金粉末。4.根据权利要求2所述的钛靶材的制造方法，其特征在于：步骤d）采用二次真空自耗电极电弧炉熔炼法将CuAu20合金粉末和小规格海绵钛的混合物经熔炼提纯后制成钛锭，替代将CuAu20合金粉末和小规格海绵钛的混合物置入电子轰击炉内通过采用电子轰击炉在真空状态下对CuAu20合金粉末和小规格海绵钛的混合物进行电子束冷床熔炼提纯后制成钛锭，其中钛锭各组成的质量百分比为，0.03%＞Au＞0.01%、0.1%＞Cu＞0.07%、Fe<0.05%、O<0.04%、N<0.015%，余量为Ti。5.根据权利要求2所述的钛靶材的制造方法，其特征在于：步骤d）采用碘化法将CuAu20合金粉末和小规格海绵钛的混合物制成碘化钛后采用二次真空自耗电极电弧熔炼法将碘化钛制成钛锭，替代将CuAu20合金粉末和小规格海绵钛的混合物置入电子轰击炉内通过采用电子轰击炉在真空状态下对CuAu20合金粉末和小规格海绵钛的混合物进行电子束冷床熔炼提纯后制成钛锭，其中钛锭各组成的质量百分比为，0.03%＞Au＞0.01%、0