一种用于石英舟的具有保护结构的清洗装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113617713A(43)申请公布日2021.11.09(21)申请号202110713661.9(22)申请日2021.06.25(71)申请人亚电科技（苏州）有限公司地址215100江苏省苏州市高新区西金芝路35号压矿区D2厂房2楼2475室申请人江苏亚电科技有限公司(72)发明人钱诚冯春田晓东(74)专利代理机构北京商专润文专利代理事务所(普通合伙)11317代理人陈平(51)Int.Cl.B08B1/02(2006.01)B08B3/10(2006.01)B08B13/00(2006.01)H01L21/673(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图6页(54)发明名称一种用于石英舟的具有保护结构的清洗装置(57)摘要本发明公开了一种用于石英舟的具有保护结构的清洗装置，包括用于储存清洗液的水槽装置，还包括用于推动石英舟移动的动力装置和用于引导石英舟移动的引导装置，所述动力装置上方设置有用于刷洗石英舟的刷洗装置，所述动力装置上面安装有用于保护固定石英舟的夹持装置；所述水槽装置包括水槽箱，所述水槽箱底部四角均匀分布有四个支撑腿，所述支撑腿下面安装有调节支脚，所述调节支脚中间设置有调节螺杆。本发明通过移动浸泡刷洗的设置，增加了对石英舟的清洗强度，提高了清洗效果；通过双联动的设置，保证了动作之间的配合，增加了对石英舟的保护；通过啮合传动的设置，增加了同时清洗石英舟的数量，加快了清洗速度。CN113617713ACN113617713A权利要求书1/1页1.一种用于石英舟的具有保护结构的清洗装置，包括用于储存清洗液的水槽装置(1)，其特征在于：还包括用于推动石英舟移动的动力装置(2)和用于引导石英舟移动的引导装置(3)，所述动力装置(2)上方设置有用于刷洗石英舟的刷洗装置(4)，所述动力装置(2)上面安装有用于保护固定石英舟的夹持装置(5)；所述水槽装置(1)包括水槽箱(101)，所述水槽箱(101)底部四角均匀分布有四个支撑腿(102)，所述支撑腿(102)下面安装有调节支脚(104)，所述调节支脚(104)中间设置有调节螺杆(103)；所述动力装置(2)包括第一支板(202)，所述第一支板(202)前面设置有电动机(201)，所述第一支板(202)后面均匀分布有若干传动齿轮(203)，所述传动齿轮(203)中间设置有丝杠(205)，所述丝杠(205)上方设置有拨杆(204)；所述引导装置(3)包括第二支板(301)，所述第二支板(301)前面均匀分布有若干导杆(302)，所述导杆(302)前端设置有限位板(303)；所述刷洗装置(4)包括前后对称设置的两个第三支板(401)，所述第三支板(401)之间均匀分布有若干支撑轴(402)，所述支撑轴(402)上转动安装有轴套管(403)，所述轴套管(403)下面设置有排刷(404)，所述排刷(404)前方设置有拨板(405)。2.根据权利要求1所述的一种用于石英舟的具有保护结构的清洗装置，其特征在于：所述夹持装置(5)包括活动架(501)，所述活动架(501)上面对称设置有两个支撑板(502)，一侧所述支撑板(502)中间安装有锁紧钉(503)。3.根据权利要求1所述的一种用于石英舟的具有保护结构的清洗装置，其特征在于：所述夹持装置(5)包括活动架(501)，所述活动架(501)上面对称设置有两个支撑板(502)，一侧所述支撑板(502)中间安装有滑杆(504)，所述滑杆(504)上面安装有复位弹簧(505)。4.根据权利要求1所述的一种用于石英舟的具有保护结构的清洗装置，其特征在于：所述水槽箱(101)采用204不锈钢材料。5.根据权利要求1所述的一种用于石英舟的具有保护结构的清洗装置，其特征在于：所述第一支板(202)、所述第二支板(301)和所述第三支板(401)分别与所述水槽箱(101)螺栓连接，所述电动机(201)和所述水槽箱(101)螺栓连接。6.根据权利要求1所述的一种用于石英舟的具有保护结构的清洗装置，其特征在于：所述调节螺杆(103)和所述调节支脚(104)铆接在一起，所述丝杠(205)和所述传动齿轮(203)铆接在一起，所述导杆(302)和所述第二支板(301)铆接在一起。7.根据权利要求1所述的一种用于石英舟的具有保护结构的清洗装置，其特征在于：所述排刷(404)和所述轴套管(403)粘贴在一起，所述拨板(405)和所述轴套管(403)焊接在一起。8.根据权利要求2或者3所述的一种用于石英舟的具有保护结构的清洗装置，其特征在于：所述活动架(501)和所述丝杠(205)螺纹连接，所述活动架(501)和所述导杆(302)滑动连接。9.根据权利要求2所述的一种用于石英舟的具有保护结