脱胶机晶托磁吸机械臂夹紧机构.pdf

本申请涉及一种脱胶机晶托磁吸机械臂夹紧机构,包括吸盘组件、相对设置在吸盘组件两侧的两个夹紧机构以及与夹紧机构信号连接的控制器,吸盘组件连接在脱胶机的磁吸机械臂上,每个夹紧机构包括夹紧臂、用以将夹紧臂安装在吸盘组件上的连接组件和驱动夹紧臂移动的驱动装置,两个夹紧机构上的夹紧臂相对设置、且通过与其对应的驱动装置驱动而相对移动,以夹紧或松开晶托,控制器控制驱动装置。该夹紧机构由控制器控制驱动装置使夹紧臂夹紧晶托。相比现有技术,仅通过磁吸机械臂磁吸晶托,本申请通过夹紧机构夹紧晶托做二次防护,防止晶托掉落,安全性更高。