一种晶托与板材的脱胶方法.pdf

本发明公开了一种晶托与板材的脱胶方法,粘黏部件包括重叠设置的晶托和板材,晶托与板材之间通过胶水连接;步骤1、上料;将粘黏部件沿传动方向放置于传动装置上,粘黏部件从上至下依次为板材、胶水和晶托,晶托的下表面与传动装置接触;步骤2、电磁加热;传动装置带动粘黏部件移动至电磁加热装置底部,电磁加热装置下表面的宽度大于板材上表面的宽度,在移动过程中电磁加热装置的下表面对板材的上表面进行加热,电磁加热装置的加热温度高于胶水的脱胶温度,加热后胶水脱胶,板材与晶托为分离状态,取下已分离的板材;步骤3、对晶托进行降温;对分离下来的晶托进行清洗降温。提高生产效率,降低人工成本。