开方机晶托.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103507174103507174A(43)申请公布日2014.01.15(21)申请号201310447793.7(22)申请日2013.09.27(71)申请人无锡荣能半导体材料有限公司地址214183江苏省无锡市惠山区玉祁镇开发区(72)发明人刘耀峰潘振东(74)专利代理机构北京中恒高博知识产权代理有限公司11249代理人高玉滨(51)Int.Cl.B28D5/04(2006.01)B28D7/04(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书2页说明书2页附图1页附图1页(54)发明名称开方机晶托(57)摘要本发明公开一种开方机晶托，包括方形的本体，本体的上下表面均为平面，在本体的上表面的纵向和横向分别开有若干个等距的线槽，每个所述线槽均贯穿于本体的两端并且线槽的宽度至少为20mm。本发明设计的开方机晶托，总高度达到100mm，这样可以留有足够的空间来消化掉切割时产生的线弓，可以避免钢线切割到晶托的情况的发生，并且为后期提高切割速度提供了物质保障。可以保证母锭能够一次性切透，提高工作效率，并且省去扰曲复原时间并省去这部分时间所使用的钢线，降低成本；同时为后续对工艺的优化，特别是提高切割速度提供物质保障；实现了消除钢线切割到晶托底座的隐患，延长其使用寿命的目的。CN103507174ACN103574ACN103507174A权利要求书1/1页1.开方机晶托，包括方形的本体，其特征在于，本体的上下表面均为平面，在本体的上表面的纵向和横向分别开有若干个等距的线槽，每个所述线槽均贯穿于本体的两端并且线槽的宽度至少为20mm。2.如权利要求1所述的开方机晶托，其特征在于，所述线槽的深度至少为100mm。3.如权利要求1所述的开方机晶托，其特征在于，相邻两个线槽之间的宽度为135mm。4.如权利要求1所述的开方机晶托，其特征在于，本体的边长为1090mm。2CN103507174A说明书1/2页开方机晶托技术领域[0001]本发明是一种开方机晶托,属于开方机设备领域。背景技术[0002]开方机晶托是母锭的载体，切割前需要将母锭粘在晶托的规定位置。由于开方机的横向和纵向钢线不在同一平面内（高度差为25mm），故切割钢线在下行切割的过程中容易损伤到晶托。发明内容[0003]本发明的目的是提供一种开方机晶托，可以有效的防止切割钢线在下行切割的过程中损伤到晶托。[0004]本发明的目的通过以下技术方案来具体实现：开方机晶托，包括方形的本体，本体的上下表面均为平面，在本体的上表面的纵向和横向分别开有若干个等距的线槽，每个所述线槽均贯穿于本体的两端并且线槽的宽度至少为20mm。[0005]所述线槽的深度至少为100mm。[0006]相邻两个线槽之间的宽度为135mm。[0007]本体的边长为1090mm。[0008]本发明设计的开方机晶托，总高度达到100mm，这样可以留有足够的空间来消化掉切割时产生的线弓，可以避免钢线切割到晶托的情况的发生，并且为后期提高切割速度提供了物质保障。可以保证母锭能够一次性切透，提高工作效率，并且省去扰曲复原时间并省去这部分时间所使用的钢线，降低成本；同时为后续对工艺的优化，特别是提高切割速度提供物质保障；实现了消除钢线切割到晶托底座的隐患，延长其使用寿命的目的。附图说明[0009]下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。[0010]图1是本发明实施例所述开方机晶托的平面结构图。[0011]图2是侧视图。具体实施方式[0012]如图1-2所示，本发明实施例所述开方机晶托，包括方形的本体，本体的上下表面均为平面，在本体的上表面的纵向和横向分别开有若干个等距的线槽，每个所述线槽均贯穿于本体的两端并且线槽的宽度至少为20mm。[0013]所述线槽的深度至少为100mm。[0014]相邻两个线槽之间的宽度为135mm。[0015]本体的边长为1090mm。3CN103507174A说明书2/2页[0016]本发明设计的开方机晶托，总高度达到100mm，这样可以留有足够的空间来消化掉切割时产生的线弓，可以避免钢线切割到晶托的情况的发生，并且为后期提高切割速度提供了物质保障。可以保证母锭能够一次性切透，提高工作效率，并且省去扰曲复原时间并省去这部分时间所使用的钢线，降低成本；同时为后续对工艺的优化，特别是提高切割速度提供物质保障；实现了消除钢线切割到晶托底座的隐患，延长其使用寿命的目的。4CN103507174A说明书附图1/1页图1图25