用于确定测量对象中的缺陷的THz测量设备和THz测量方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112805552A(43)申请公布日2021.05.14(21)申请号201980061622.6(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公(22)申请日2019.08.28司72001代理人胡莉莉刘春元(30)优先权数据102018122965.82018.09.19DE(51)Int.Cl.G01N21/3581(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日G01N21/88(2006.01)2021.03.19(86)PCT国际申请的申请数据PCT/DE2019/1007782019.08.28(87)PCT国际申请的公布数据WO2020/057689DE2020.03.26(71)申请人因诺伊克斯压铸技术创新设备有限责任公司地址德国梅勒(72)发明人R·克洛泽权利要求书3页说明书7页附图5页(54)发明名称用于确定测量对象中的缺陷的THz测量设备和THz测量方法(57)摘要本发明涉及一种优选地便携式THz测量设备（1），用于确定在尤其是固定的测量对象（2）中的缺陷（3），其中所述THz测量设备（1）具有：天线阵列（4），所述天线阵列（4）具有至少一个主动的THz发送器、例如收发器（12）和多个THz接收器（14），所述主动的THz发送器沿着光学轴线（A）发出THz发送射束（15），所述多个THz接收器（14）以对于THz发送器（12）为固定的空间布局来布置并且与THz接收器同步，探测到被反射的THz辐射（16）并且输出THz测量信号（S1）；控制装置（5），所述控制装置（5）接收THz测量信号（S1）并且将缺陷（3）确定为反射，所述反射在所述测量对象（2）的符合规定的边界面（2a，2b）之外进行。在这种情况下，THz接收器（14）也可以有时、尤其是交替地进行发送。用户可以调整测量设备，其中通过加速度传感器（18）和时间积分可以确定位置，CN112805552A以便获得其他测量数据。CN112805552A权利要求书1/3页1.一种用于确定测量对象（2）中的缺陷（3）的THz测量设备（1），其具有：天线阵列（4），所述天线阵列（4）具有：至少一个主动的THz发送器（12），所述至少一个主动的THz发送器（12）沿着光学轴线（A）发出THz发送射束（15）；多个THz接收器（14），所述多个THz接收器（14）以对于所述THz发送器（12）为固定的空间布局来布置并且与所述THz发送器同步，探测到被反射的THz辐射（16）并且输出THz测量信号（S1），和控制装置（5），所述控制装置（5）接收所述THz测量信号（S1）并且将缺陷（3）确定为如下反射：所述反射在所述测量对象（2）的符合规定的边界面（2a，2b）之外进行。2.根据权利要求1所述的THz测量设备（1），其特征在于，所述THz发送器是THz收发器（12），所述THz收发器（12）探测到被反射的THz辐射（16）并且输出THz测量信号（S1）。3.根据权利要求2所述的THz测量设备（1），其特征在于，所述THz接收器（14）中的至少一个THz接收器有时主动地发出THz发送射束（15），其中总是一个THz接收器（14）或者所述THz收发器（12）进行发送，而另外的THz接收器（14）或者所述THz收发器（12）进行接收。4.根据权利要求3所述的THz测量设备（1），其特征在于，尤其是在交替地变更主动的发送功能的情况下，多个、优选地所有THz接收器（14）有时进行发送，而所述THz收发器（12）有时仅被动地接收到被反射的THz辐射（16）。5.根据上述权利要求中任一项所述的THz测量设备（1），其特征在于，优选地在中部布置所述THz发送器（12）的情况下，所述天线阵列（4）具有至少一个传感器条（4a，4b）作为例如如下线性布局：所述线性布局由至少一个THz发送器（12）和所述多个THz接收器（14）构成。6.根据上述权利要求中任一项所述的THz测量设备（1），其特征在于，所述THz测量设备（1）具有THz接收器（14）的两个不平行的、例如线性的布局，尤其是作为THz接收器（14）的两个交叉的传感器条（4a，4b）或者二维矩阵布局。7.根据上述权利要求中任一项所述的THz测量设备（1），其特征在于，所述THz测量设备（1）此外还具有加速度传感器装置（18），用于测量所述THz测量设备（1）的加速度和输出加速度测量信号（S3）、优选地用于测量在三个空间方向上和/或在一个或者多个转动方向上的加速度，其中所述控制装置（5）接收所述加速度测量信号（S3），并且通过两次时间积分来确定所述THz测量设备（1）在发送和接收所述THz辐射（15，16）时的空间位置。8.根据权利要求7所述的THz测量