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为了以非常高的精度和小的测量误差来实现对工艺气体(1)的流量的测量,设置有配重(2),所述配重经由补偿装置(4)与气体压力容器(3)连接,所述配重产生配重力(F2),其中补偿装置(4)被设计为使得容器重力(F3)至少部分地补偿配重力(F2)或者配重力(F2)至少部分地补偿容器重力(F3)以形成结果得到的测量重力(Fx),其中设置有工艺秤(5),其被设计为在至少两个时间点(t1,t2)确定所述测量重力(Fx),并且其中设置有分析单元(6),所述分析单元与所述工艺秤(5)连接并且被设计为在使用在至少两个时间点(t1,t2)确定的测量重力(Fx)的情况下确定工艺气体(1)的流量(X)。