用于利用电磁辐射来对测量物体予以测量的方法和THz-测量仪.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112313473A(43)申请公布日2021.02.02(21)申请号201980041317.0(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公(22)申请日2019.04.18司72001代理人郭帆扬陈浩然(30)优先权数据102018109250.42018.04.18DE(51)Int.Cl.G01B11/06(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日G01S17/08(2006.01)2020.12.18G01N21/3581(2014.01)(86)PCT国际申请的申请数据G01S13/88(2006.01)PCT/DE2019/1003662019.04.18(87)PCT国际申请的公布数据WO2019/201396DE2019.10.24(71)申请人因诺伊克斯压铸技术创新设备有限责任公司地址德国梅勒(72)发明人R·克洛泽权利要求书3页说明书7页附图4页(54)发明名称用于利用电磁辐射来对测量物体予以测量的方法和THz-测量仪(57)摘要本发明涉及一种用于对测量物体(3)予以THz‑测量的方法，带有如下步骤：预测量的阶段，在该阶段中，THz‑测量仪(2)的THz‑收发器的在第一频率范围内且带有第一带宽的第一THz‑发射射束(112)射出到测量物体(3)上，并且探测由测量物体(3)的边界面反射的THz‑辐射；判定是否检测到测量物体(3)；如果检测到测量物体(3)，则测定THz‑测量仪(2)或THz‑收发器相距边界面(St5)的当前距离；把所测定的当前距离与边界距离相比较；在未超出边界距离时，随后引入主测量或者指示对主测量的引入；主测量的阶段，在该阶段中，主测量‑THz‑发射射束沿着光学轴线射入到测量物体上，并且探测被反射的THz‑辐射，其中，主测量‑THz‑发射射束的第二带宽优选大于第一带宽，其中，由发出的主测量‑THz‑发射射束和所探测到的被反射的THz‑辐射来测定CN112313473A测量特性、例如层厚或材料组分；输出测量结果。CN112313473A权利要求书1/3页1.用于对测量物体(3)予以THz-测量的方法，具有至少如下步骤：-预测量(I)的阶段(St3)；-判定是否检测到所述测量物体(3)(St4)；-如果检测到所述测量物体(3)，则测定THz-测量仪(2)或THz-收发器(8)相距边界面(3a)的当前距离(d)(St5)；-把所测定的所述当前距离(d)与边界距离(d_tres)相比较(St6)；-在未超出所述边界距离(d_tres)时(St8)，随后引入主测量(II)或者指示所述主测量(II)的引入；-主测量(II)的阶段，在该阶段中，带有主测量-带宽(b2)的主测量-THz-发射射束(212)沿着光学轴线(A)射入到所述测量物体(3)上，并且探测被反射的THz-辐射(14)(St9)，其中，利用发出的所述主测量-THz-发射射束(212)和探测到的所述被反射的THz-辐射(14)对所述测量物体(3)的几何特性或材料特性进行测量(St10)；-输出测量结果(St11)。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述THz-测量仪(2)是便携式的，且在把持区域(4)被保持和引导，其中，所述测量仪以其前端区域(5)被定位在所述测量物体(3)之前或其处(St1、St7)。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，便携式的所述THz-测量仪(2)被使用者以构造在前端区域(5)处的贴靠部、优选成型挡板(25)放置到所述测量物体(3)的边界面(3a)处，以便不超出所述边界距离(d_tres)。4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，通过对操纵设备(18)例如按钮或开关的操纵，引入所述预测量(I)的阶段和/或所述主测量(II)的阶段(St2)。5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，把所述阶段或者所述阶段(I、II)的一部分指示在显示设备(16)上，和/或通过光学的显示设备尤其作为光学信号予以输出。6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，在所述主测量(II)的阶段中，在利用所述主测量-THz-发射射束(212)对所述测量物体(3)予以测量时，对几何特性进行测量，尤其测定在所述测量物体(3)的边界面(3a、3b)之间的层厚(d3)。7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，在所述主测量(II)的阶段中，在利用主测量-THz-发射射束(212)对所述测量物体(3)予以测量时，对所述测量物体(3)进行材料分析，尤其进行光谱分析，例如对所述测量物体(3)进行空间分辨的光谱分析。8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，在判定出未超出所述边界距离(d_tres)时，自动地引