光扫描设备和测距装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115917358A(43)申请公布日2023.04.04(21)申请号202080102195.4(51)Int.Cl.(22)申请日2020.06.26G01S7/481(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2022.12.19(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2020/0253752020.06.26(87)PCT国际申请的公布数据WO2021/260950JA2021.12.30(71)申请人三菱电机株式会社地址日本东京都(72)发明人白尾瑞基正田史生(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127专利代理师孙明浩权利要求书1页说明书10页附图11页(54)发明名称光扫描设备和测距装置(57)摘要光扫描设备(2)构成为具有：光模式转换器(5)，其伴随着从光源(1)输出的光的波长或从光源(1)输出的光的相位的变化，对光的放射方向进行变更；以及致动器(7)，其使光模式转换器(5)绕2个垂直的轴分别旋转。CN115917358ACN115917358A权利要求书1/1页1.一种光扫描设备，其具有：光模式转换器，其伴随着从光源输出的光的波长或从所述光源输出的光的相位的变化，对所述光的放射方向进行变更；以及致动器，其使所述光模式转换器绕2个垂直的轴分别旋转。2.根据权利要求1所述的光扫描设备，其特征在于，所述光模式转换器通过所述致动器而旋转，由此，来自所述光模式转换器的光的放射方向绕第1轴旋转，所述第1轴是所述致动器的2个旋转轴中的任意旋转轴。3.根据权利要求1所述的光扫描设备，其特征在于，使用多个所述光模式转换器，各个光模式转换器被配置成相互不同的朝向。4.根据权利要求1所述的光扫描设备，其特征在于，使用多个所述光模式转换器，从所述光源向各个光模式转换器输出波长相互不同的光或相位相互不同的光。5.根据权利要求1所述的光扫描设备，其特征在于，所述光模式转换器接收被测距对象物反射的光即反射光。6.一种测距装置，其特征在于，所述测距装置具有：权利要求5所述的光扫描设备；以及时间计测部，其计测从所述光模式转换器放射光起到所述光模式转换器接收反射光为止的时间。7.一种测距装置，其特征在于，所述测距装置具有：权利要求1～4中的任意一项所述的光扫描设备；受光器，其接收从所述光模式转换器放射后被测距对象物反射的光即反射光；以及时间计测部，其计测从所述光模式转换器放射光起到所述受光器接收反射光为止的时间。8.根据权利要求7所述的测距装置，其特征在于，使用多个所述光模式转换器，各个光模式转换器被配置成相互不同的朝向，使用多个所述受光器，各个受光器配置于接收从各个光模式转换器放射后被测距对象物反射的光的位置。2CN115917358A说明书1/10页光扫描设备和测距装置技术领域[0001]本发明涉及光扫描设备和具有光扫描设备的测距装置，该光扫描设备用于使在朝向测距对象物放射光后被测距对象物反射来的光反射。背景技术[0002]在测距装置中，存在具有光扫描设备的测距装置，该光扫描设备用于使朝向测距对象物放射光后、被测距对象物反射来的光反射。[0003]在以下的专利文献1中公开了能够用作该光扫描设备的MEMS(MicroElectroMechanicalSystems：微机电系统)扫描仪。[0004]该MEMS扫描仪具有反射镜，该反射镜用于在使从光源输出的光朝向测距对象物反射后，使被测距对象物反射来的光朝向受光器反射。此外，该MEMS扫描仪具有致动器，该致动器使该反射镜绕第1轴旋转，并使该反射镜绕第2轴旋转。[0005]在从光源朝向该反射镜输出光时，如果该致动器例如如下所述使该反射镜绕2个轴旋转，则能够对测距对象物进行光扫描。[0006]首先，致动器使绕第1轴的旋转角度θx从θx1变化到θx2，然后使绕第2轴的旋转角度θy变化Δθ(以下称为“第1旋转动作”)。接着，致动器使绕第1轴的旋转角度θx从θx2变化到θx1，然后使绕第2轴的旋转角度θy变化Δθ(以下称为“第2旋转动作”)。然后，致动器交替地反复实施第1旋转动作和第2旋转动作。[0007]现有技术文献[0008]专利文献[0009]专利文献1：日本特表2007‑522529号公报发明内容[0010]发明要解决的问题[0011]针对测距对象物的光扫描的分辨率依赖于Δθ的大小，Δθ越小，则光扫描的分辨率越提高。但是，在致动器的机械构造上，当要设置宽视场角时，很难减小1次的偏转角Δθ，因此，存在无法得到期望的分辨率的问题。[0012]本发明正是为了解决上述这种问题而完成的，其目的在于，得到如下的光扫描设备：相比于仅通过致动器使反射镜绕2个轴旋转而使光进行扫描，能够提高光扫描的分辨率。[0013]用于解决问