一种磁控溅射旋转靶.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115896725A(43)申请公布日2023.04.04(21)申请号202211666650.0(22)申请日2022.12.23(71)申请人南通成泰磁材科技有限公司地址226000江苏省南通市海安市海安镇东庙村二组(72)发明人江阳张爱兰(74)专利代理机构南通国鑫智汇知识产权代理事务所(普通合伙)32606专利代理师吕林峰(51)Int.Cl.C23C14/35(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图10页(54)发明名称一种磁控溅射旋转靶(57)摘要本发明涉及旋转靶技术领域，公开了一种磁控溅射旋转靶，包括箱体和设置在箱体内部的靶材，箱体的内部还设置有安装机构，安装机构的一侧设置有放置机构，箱体的底部设置有位移机构，箱体的两侧分别设置有导热机构和导电机构，当靶材放置在放置板上时，将底板从内槽孔中抽出，同时将沉槽中的转筒旋转至与底板垂直方向，再利用磁套管将连接板向上移动，且将对接弹簧的一端与靶材相连接，在连接板向上移动的时候，对接弹簧不断的被挤压，对接弹簧挤压度越大，对接弹簧稳定性越高，提高对靶材放置的稳定性，防止出现靶材掉落的现象。CN115896725ACN115896725A权利要求书1/2页1.一种磁控溅射旋转靶，包括箱体（1）和设置在箱体（1）内部的靶材（2），其特征在于：箱体（1）的内部还设置有安装机构（3），安装机构（3）的一侧设置有放置机构（4），箱体（1）的底部设置有位移机构（5），箱体（1）的两侧分别设置有导热机构（6）和导电机构（7）；放置机构（4）包括设置在箱体（1）内部的放置板（41），设置在放置板（41）外表面上的活动块（42），设置在放置板（41）两侧的导热孔组（43）和导电孔组（44），以及开设在放置板（41）外表面上的内槽孔（45），内槽孔（45）的内部设置有底板（46），底板（46）的上表面开设有沉槽（47），沉槽（47）的内部设置有顶升组件（48）。2.如权利要求1所述的一种磁控溅射旋转靶，其特征在于：顶升组件（48）包括设置在沉槽（47）内部的转筒（481），设置在转筒（481）外表面上的磁套管（482），设置在磁套管（482）外表面上的锁紧杆（483），以及设置在转筒（481）一侧的圆弧孔（484），转筒（481）的内部设置有对接弹簧（486），对接弹簧（486）的一端设置有连接板（485），磁套管（482）与连接板（485）磁性连接。3.如权利要求2所述的一种磁控溅射旋转靶，其特征在于：安装机构（3）包括设置在箱体（1）内部的立筒（31），设置在立筒（31）上端的锥筒（32），以及开设在立筒（31）和锥筒（32）外表面上的环槽（33），环槽（33）的内部设置有升降杆（34），升降杆（34）的一端设置有磁薄板（35），活动块（42）的一侧设置有吸附块（421），活动块（42）的外表面上开设有对接孔（422），对接孔（422）的内部设置有铁板（423），活动块（42）通过吸附块（421）与磁薄板（35）相连接。4.如权利要求3所述的一种磁控溅射旋转靶，其特征在于：锥筒（32）包括设置在锥筒（32）外表面上的顶孔（321），设置在顶孔（321）内部的对接杆（322），以及设置在锥筒（32）内部的电源（323），电源（323）的外表面上设置有支弹簧（324）和导线（325），电源（323）通过支弹簧（324）与对接杆（322）相连接，对接杆（322）与对接孔（422）的孔径相对应。5.如权利要求1所述的一种磁控溅射旋转靶，其特征在于：箱体（1）包括设置在箱体（1）上表面的外接槽（11），设置在箱体（1）外表面上的对应槽（12），以及设置在对应槽（12）内部的侧槽（13），侧槽（13）设置有两组，且对立设置，导热机构（6）包括设置在侧槽（13）内部的抽拉板A（61），贯穿设置在抽拉板A（61）内部的竖杆（62）和保温杆（63），以及设置在保温杆（63）内部的传热杆（64），抽拉板A（61）的内部设置有隔板（65），保温杆（63）的外表面上设置有移动杆（66）。6.如权利要求5所述的一种磁控溅射旋转靶，其特征在于：抽拉板A（61）的上表面设置有穿孔A（611），抽拉板A（61）的一侧设置有穿孔B（612），竖杆（62）放置在穿孔A（611）内部，保温杆（63）放置在穿孔B（612）内部，穿孔A（611）与穿孔B（612）垂直设置，隔板（65）的外表面上设置有滑槽（651），滑槽（651）的内部设置有磁凸块（652），隔板（65）的外表面上还开设有导孔（653），导孔（653）与穿孔A（611）设置在同一垂直平面内，保温杆（63）通过移动杆（66）与滑槽（651）活动连接，移动杆（66）与磁凸块（652）磁性连接。7.如