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异物/缺陷检查装置、异物/缺陷检查中的图像生成装置以及异物/缺陷检查方法.pdf
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异物/缺陷检查装置、异物/缺陷检查中的图像生成装置以及异物/缺陷检查方法.pdf
由受光元件阵列(光电二极管阵列)的至少一个受光元件构成的一像素单位与光源一对一地对应，仅在光源发光时，由与该光源对应的至少一个受光元件(一像素单位)检测光束。因此，被准直或进一步大致聚光的仅一根光束射入到检查对象物中的“异物/缺陷”，受光元件仅能够分离并检测被散射的光，因此即使是具有光散射性且具有厚度的检查对象，也能够以良好的S/N(串扰极少)检测“异物/缺陷”。
2023-06-03
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本发明提供了一种确定残留于工件的异物的位置或形状的异物检查装置。对工件(17)的检查部位的异物进行检查的异物检查装置具有：具有吸入异物的吸入口(33)的喷嘴(30)、排气装置(25)、将喷嘴(30)和排气装置(25)连接的抽吸通路(21)和对与从吸入口(33)吸入的所述异物的形状有关的异物信息进行检测的检测装置(40、73、91)。
2023-11-15
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基板异物检查装置以及基板异物检查方法.pdf
能够更简便地非常高精度地进行异物的检测。针对具有从输入的图像数据中提取特征量的编码部、以及从该特征量重构图像数据的解码部的神经网络,使用仅将无异物的印刷基板涉及的图像数据作为学习数据进行学习而生成的AI模型(100),获取将由相机(32D)得到的图像数据作为原始图像数据输入AI模型(100)而重构的图像数据作为重构图像数据。对原始图像数据和重构图像数据进行比较,基于比较结果来判定印刷基板中有无异物。由于不需要准备用于比较的主基板,因此异物检查变得简便。另外,通过在比较的两图像数据中使印刷基板的形状、外观分
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缺陷检查方法及缺陷检查装置.pdf
提供缺陷检查方法及缺陷检查装置,在以在直线偏振板层叠有防护膜和剥离膜的光学膜为被检物的情况下,能检出直线偏振板光学特性不均。缺陷检查方法是以具有直线偏振板的光学膜为被检物的该直线偏振板的缺陷检查方法,该光学膜依次具有剥离膜、该直线偏振板和防护膜,该防护膜具有取向轴,且被层叠为使该取向轴与该直线偏振板的吸收轴所成角度为0°±30°的范围,该缺陷检查方法具有配置工序,沿光轴依次配置具有第1偏振片的第1滤光片、相位差补偿板、该光学膜以及具有第2偏振片的第2滤光片,且将该光学膜以使该剥离膜侧的表面与该相位差补偿板
2023-05-16
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缺陷检查方法及缺陷检查装置.pdf
本发明提供一种能够检测出光学特性的不均的缺陷检查方法。所述缺陷检查方法具有:配置工序,依次地并且满足下述的条件a1及条件a2地配置第1滤光片、光学膜、第2滤光片:(a1)所述第1滤光片的第1偏振片的吸收轴与所述被检偏振片的吸收轴所成的角度θ1为90°±5°的范围内,(a2)所述被检偏振片的吸收轴与所述第2滤光片的第2偏振片的吸收轴所成的角度θ2为90°±35°的范围内;检测工序,检测从光源照射、并依次透过所述第1滤光片、所述光学膜以及所述第2滤光片的光;以及判断工序,基于所述检测工序中的检测结果,判断所述
2023-05-16
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