一种电子束蒸发真空镀膜机.pdf
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一种真空电子束蒸发镀膜机.pdf
本申请涉及一种真空电子束蒸发镀膜机,其包括机箱,所述机箱内设置有真空腔与设备腔,所述真空腔内设置有装载机构,装载机构包括工件盘,所述工件盘内设置有基材板,且真空腔的一侧内壁上铰接安装有电子枪,所述真空腔的底部内壁上固定连接有伸缩架,所述伸缩架上设置有坩埚,且伸缩架上设置有调节机构,调节机构包括调节螺纹筒,所述调节螺纹筒固定连接在伸缩架的底部,调节机构还包括调节螺杆,所述调节螺杆转动设置在真空腔内,且调节螺纹筒螺纹连接套设在调节螺杆上,本申请中,通过设置工件盘,可以方便装载基材板,同时通过调节螺纹筒可以推动
一种电子束蒸发真空镀膜机.pdf
本发明公开了一种电子束蒸发真空镀膜机,包括真空镀膜机机体,真空镀膜机机体顶部的左侧固定连接有第一风扇。本发明通过设置真空镀膜机机体、第一风扇、水箱、防水电机、搅拌杆、搅拌叶、散热导板、散热铜管、第二风扇、第一防护网、排水管、进水槽、卡槽、滤网、限位板、限位槽、限位块、限位杆、支杆、弹簧、第一环形块、第二环形块、潜水泵、出水管、环形管与进水管的配合使用,解决了工业生产中需要使用真空镀膜机,真空镀膜机大多是需要在较高温度下进行的镀膜,现有的真空镀膜机在工作时会散发出许多的热量,电子设备也会因长期的高温对电子元
一种真空镀膜机的导电系统以及真空镀膜机.pdf
本发明公开了一种真空镀膜机的导电系统,包括转架,所述转架包括转盘,所述转盘的边沿设有外齿圈,包括侧导电装置,所述侧导电装置包括固定座、摆臂与导电齿轮,所述摆臂的一端通过弹性构件安装在固定上,所述导电齿轮与外齿圈的重合度大于1。本发明通过利用齿轮的啮合进行导电,由于导电齿轮与外齿圈的重合度大于1,所述可以保证导电齿轮与外齿圈能够连续传动,即导电齿轮与外齿圈保持接触,使得转架在转动的时候始终保持通电,从而提高转架上的产品的镀膜质量。同时本发明又提供了一种应用了上述导电系统的种真空镀膜机。利用了上述导电系统的真
一种真空镀膜机.pdf
本发明适用于镀膜设备技术领域,提供了一种真空镀膜机,包括真空腔体,真空腔体内设置有用于放置工件的工件架、靶材、公转齿轮、驱动齿轮、驱动电机、固定齿轮以及自转齿轮。靶材设置于工件架侧边,工件架通过一转轴可旋转地安装于公转齿轮上。驱动电机驱动驱动齿轮旋转,驱动齿轮与公转齿轮传动连接。固定齿轮固定于真空腔体内,工件架与一转轴固定连接,该转轴可旋转地安装于公转齿轮上,并且转轴与自转齿轮固定连接,自转齿轮与固定齿轮啮合。本发明的真空镀膜机可以在工件架的各个侧面上装载工件,装炉量为现有镀膜机的三倍多,在一次镀膜作业中
一种真空镀膜机.pdf
本发明公开了一种真空镀膜机,包括基材、控制系统、真空镀膜室、真空取件室和真空装件室,所述的真空镀膜室分别通过阀门与真空取件室和真空装件室连接,所述的真空镀膜室内设有基材、工件车、蒸发装置和循环轮转式传动机构,循环轮转式传动机构安装在工件车上,基材沿循环轮转式传动机构布置,对应基材的一面或双面设置有蒸发装置,真空镀膜室上还设有充气阀和若干阀门,阀门上连接有真空泵。本发明真空镀膜机具有设备通用性强、生产效率高和占地面积小的优点。