一种电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109609916A(43)申请公布日2019.04.12(21)申请号201910062206.X(22)申请日2019.01.23(71)申请人湖南宇诚精密科技有限公司地址413001湖南省益阳市资阳区长春经济开发区马良北路341号(72)发明人杨佳葳龚涛蔡国龚平谢俊(74)专利代理机构长沙明新专利代理事务所(普通合伙)43222代理人徐新(51)Int.Cl.C23C14/30(2006.01)C23C14/54(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图1页(54)发明名称一种电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置(57)摘要一种电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置，包括固定修正装置Ⅰ、固定修正装置Ⅱ、活动修正装置、1个蒸发源、4个卤素灯、1个离子源和1个电子枪；所述1个蒸发源、4个卤素灯、1个离子源在同一个分度圆上，所述4个卤素灯分为两组，沿中心位置两侧对称；蒸发源位于炉体中心对称位置；离子源位于炉体左侧；电子枪位于炉体右侧；固定修正装置Ⅰ位于左侧两个卤素灯中间位置，安装在炉体内壁上；固定修正装置Ⅱ位于右侧卤素灯与电子枪中间位置，并安装在炉体内壁上；固定修正装置Ⅰ与固定修正装置Ⅱ安装高度一致；活动修正装置位于炉体右侧，位于电子枪上方。本发明具有结构简单，修正装置数量少、效果好等优点。CN109609916ACN109609916A权利要求书1/1页1.一种电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置，其特征在于：包括固定修正装置Ⅰ、固定修正装置Ⅱ、活动修正装置、1个蒸发源、4个卤素灯、1个离子源和1个电子枪；所述1个蒸发源、4个卤素灯、1个离子源在同一个分度圆上，所述4个卤素灯分为两组，沿中心位置两侧对称；所述蒸发源位于炉体中心对称位置；所述离子源位于炉体左侧；所述电子枪位于炉体右侧；所述固定修正装置Ⅰ位于左侧两个卤素灯中间位置，安装在炉体内壁上，能沿安装位置水平方向旋转调节；所述固定修正装置Ⅱ位于右侧卤素灯与电子枪中间位置，并安装在炉体内壁上，能沿安装位置水平方向旋转调节；所述固定修正装置Ⅰ与固定修正装置Ⅱ安装高度一致；所述活动修正装置位于炉体右侧，位于电子枪上方，能沿安装位置水平方向旋转调节。2.根据权利要求1所述的电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置，其特征在于：所述蒸发源靠近炉体出风口。3.根据权利要求1或2所述的电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置，其特征在于：所述离子源靠近炉门。4.根据权利要求1或2所述的电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置，其特征在于：所述电子枪靠近炉门。5.根据权利要求1或2所述的电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置，其特征在于：所述固定修正装置Ⅰ上修正板靠近镀膜机抽气口。2CN109609916A说明书1/2页一种电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置技术领域[0001]本发明涉及一种电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置。背景技术[0002]现有镀膜机修正装置通常采用四个固定修正装置和一个垂直活动修正装置，固定修正方式未考虑腔体抽气对镀膜均匀性的影响，且垂直活动修正装置既要保证修正板与蒸发源的相对高度又要保证垂直运动空间在结构上往往很难同时满足。发明内容[0003]本发明所要解决的计算问题是，提供一种结构简单，修正装置数量少、效果好，适应范围更广的电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置。[0004]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置，包括固定修正装置Ⅰ、固定修正装置Ⅱ、活动修正装置、1个蒸发源、4个卤素灯、1个离子源和1个电子枪；所述1个蒸发源、4个卤素灯、1个离子源在同一个分度圆上，所述4个卤素灯分为两组，沿中心位置两侧对称；所述蒸发源位于炉体中心对称位置；所述离子源位于炉体左侧；所述电子枪位于炉体右侧；所述固定修正装置Ⅰ位于左侧两个卤素灯中间位置，安装在炉体内壁上，能沿安装位置水平方向旋转调节；所述固定修正装置Ⅱ位于右侧卤素灯与电子枪中间位置，并安装在炉体内壁上，能沿安装位置水平方向旋转调节；所述固定修正装置Ⅰ与固定修正装置Ⅱ安装高度一致；所述活动修正装置位于炉体右侧，位于电子枪上方，能沿安装位置水平方向旋转调节。[0005]进一步，所述蒸发源靠近炉体出风口。[0006]进一步，所述离子源靠近炉门。[0007]进一步，所述电子枪靠近炉门。[0008]进一步，所述固定修正装置Ⅰ上修正板靠近镀膜机抽气口。[0009]本发明所述固定修正装置Ⅰ1用于修正镀膜过程中抽气对镀膜膜厚均匀性的影响；所述固定修正装置Ⅱ2用于修正镀膜过程中蒸发源蒸发物质，提高镀膜过程中的均匀性；所述活动修正装置3用于进一步修正镀膜过程中蒸发源蒸发物质，进一步提高镀膜过程中的膜厚均匀性。[0010]本发明采用两个固定修正装置（通用结构为四个固定修正装置，其中一个位置与通用结构位置一致，另外一