悬臂式探针结构.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116008618A(43)申请公布日2023.04.25(21)申请号202111232742.3(22)申请日2021.10.22(71)申请人台湾中华精测科技股份有限公司地址中国台湾桃园市(72)发明人赖融暘郑孟杰魏逊泰李文聪(74)专利代理机构隆天知识产权代理有限公司72003专利代理师聂慧荃郑特强(51)Int.Cl.G01R1/067(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图10页(54)发明名称悬臂式探针结构(57)摘要本发明公开一种悬臂式探针结构。悬臂式探针结构包含一固定段、相连于固定段的一行程段、相连于行程段的一针测段。行程段朝远离固定段的方向依序具有一第一特征部、一弹性部及一第二特征部，第一特征部与第二特征部彼此相向且间隔设置，针测段相连于第二特征部。当悬臂式探针结构以针测段的一自由端顶抵于一待测物，以通过弹性部形变而使第二特征部接触于第一特征部时，悬臂式探针结构形成由自由端依序沿经针测段、第二特征部及第一特征部而至固定段的一信号传输路径。据此，悬臂式探针结构通过弹性部而有效地优化整体受力结构，并大幅地缩短信号传输的路径长度。CN116008618ACN116008618A权利要求书1/1页1.一种悬臂式探针结构，其特征在于，所述悬臂式探针结构包括：一固定段，用来焊接于一板体上；一行程段，相连于所述固定段；其中，所述行程段朝远离所述固定段的方向依序具有一第一特征部、一弹性部及一第二特征部，并且所述第一特征部与所述第二特征部彼此相向且间隔设置；以及一针测段，相连于所述行程段的所述第二特征部，并且所述针测段的一自由端用以可分离地顶抵于一待测物上；其中，所述悬臂式探针结构定义有由所述自由端依序沿经所述针测段、所述第二特征部、所述弹性部及所述第一特征部而至所述固定段的一第一信号传输路径；其中，当所述悬臂式探针结构以所述自由端顶抵于所述待测物，以通过所述弹性部形变而使所述第二特征部接触于所述第一特征部时，所述悬臂式探针结构形成有由所述自由端依序沿经所述针测段、所述第二特征部及所述第一特征部而至所述固定段的一第二信号传输路径。2.依据权利要求1所述的悬臂式探针结构，其特征在于，所述针测段包含：一顶抵部，具有所述自由端；及一悬臂部，连接所述顶抵部与所述第二特征部；其中，所述顶抵部能通过所述悬臂部相对于所述弹性部摆动而产生位移。3.依据权利要求2所述的悬臂式探针结构，其特征在于，所述悬臂部是自所述第二特征部朝远离所述弹性部与所述固定段的一倾斜方向延伸所形成。4.依据权利要求2所述的悬臂式探针结构，其特征在于，所述悬臂部沿其长度方向凹设形成有至少一个槽孔。5.依据权利要求2所述的悬臂式探针结构，其特征在于，所述顶抵部呈阶层状且具有自所述悬臂部依序延伸的一第一梯形区段与一第二梯形区段，并且所述第一梯形区段的顶缘大于所述第二梯形区段的底缘。6.依据权利要求2所述的悬臂式探针结构，其特征在于，所述行程段具有自所述固定段倾斜地延伸至所述第一特征部的一支撑部，并且所述支撑部与所述悬臂部彼此相向；其中，所述支撑部与所述悬臂部之间的距离朝远离所述弹性部的方向逐渐地增加。7.依据权利要求1所述的悬臂式探针结构，其特征在于，所述第一信号传输路径中的所述第二特征部、所述弹性部及所述第一特征部所形成的一阻抗值，其大于所述第二信号传输路径中的所述第二特征部与所述第一特征部所形成的一阻抗值。8.依据权利要求1所述的悬臂式探针结构，其特征在于，所述第二特征部与所述第一特征部之间的接触限定为多点接触。9.依据权利要求1所述的悬臂式探针结构，其特征在于，所述悬臂式探针结构于平行所述板体的方向具有一宽度，并且所述悬臂式探针结构于垂直所述板体的方向具有一高度，而所述悬臂式探针结构的所述宽度除以所述高度所定义出的一比值，其介于0.7～1.5。10.依据权利要求1所述的悬臂式探针结构，其特征在于，所述悬臂式探针结构进一步限定为一体成型的单件式构造，并且所述弹性部呈C字形或U字形，而当所述第二特征部接触于所述第一特征部时，所述第一特征部、所述弹性部、与所述第二特征部共同构成一封闭循环。2CN116008618A说明书1/6页悬臂式探针结构技术领域[0001]本发明涉及一种探针，尤其涉及一种悬臂式探针结构。背景技术[0002]现有的悬臂式探针(如：中国台湾第I429915号发明专利)所具备的悬臂长度都较长，因而导致其信号传输路径也较长，所以现有悬臂式探针难以被应用在高速或高频的信号测试。于是，本发明人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本发明。发明内容[0003]本发明实施例在于提供一种悬臂式探针结构，其能有效地改善现有悬臂式探针所可能产生的缺