手动探针结构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN104655886A(43)申请公布日2015.05.27(21)申请号201510125549.8(22)申请日2015.03.20(71)申请人合肥京东方光电科技有限公司地址230012安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号申请人京东方科技集团股份有限公司(72)发明人胡静黄文同张淼(74)专利代理机构北京路浩知识产权代理有限公司11002代理人李相雨(51)Int.Cl.G01R1/067(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称手动探针结构(57)摘要本发明涉及基板生产技术领域，公开了一种手动探针结构，包括机架、可滑动地设于机架的桶架和可滑动地设于桶架上的精密定位器，精密定位器设有可三维调节的镜头悬臂和探针悬臂，镜头悬臂设有轮盘式倍率镜头模块，轮盘式倍率镜头模块包括固定于镜头悬臂的镜头座和可转动地安装于镜头座的镜盘，镜盘沿转动中心的周向排布设有多个不同倍率的镜头；探针悬臂的前端设有针头，针头位于镜盘的下方，且转动镜盘，多个镜头可分别与针头相对应。本发明在选择镜头时，仅需要手动转动镜盘切换镜头，省时省力，方便快捷，定位准确，可满足不同倍率条件下的测试点寻找需求，提高检测效率。CN104655886ACN104655886A权利要求书1/1页1.一种手动探针结构，其特征在于，包括机架、可滑动地设于所述机架的桶架和可滑动地设于所述桶架上的精密定位器，所述精密定位器设有可三维调节的镜头悬臂和探针悬臂，所述镜头悬臂设有轮盘式倍率镜头模块，所述轮盘式倍率镜头模块包括固定于镜头悬臂的镜头座和可转动地安装于所述镜头座的镜盘，所述镜盘沿转动中心的周向排布设有多个不同倍率的镜头；所述探针悬臂的前端设有针头，所述针头位于所述镜盘的下方，且转动镜盘，多个镜头可分别与针头相对应。2.如权利要求1所述的手动探针结构，其特征在于，所述探针悬臂与所述轮盘式倍率镜头模块之间设有弹性连接组件，所述弹性连接组件包括磁性定位盘和探针固定盘，所述磁性定位盘固定于所述镜头座，所述探针固定盘可与所述定位盘磁性吸合连接，所述探针固定盘通过弹性件与所述探针悬臂相连接，且所述弹性件的弹性力小于所述磁性定位盘与探针固定盘之间吸合力。3.如权利要求2所述的手动探针结构，其特征在于，所述弹性件为拉伸弹簧。4.如权利要求1所述的手动探针结构，其特征在于，所述针头包括针体和滚珠，所述针体的下端设有容纳腔，所述滚珠可滚动地嵌合于所述容纳腔中，且部分外露于容纳腔外；所述针体还设有与所述容纳腔相连接的导液通道。5.如权利要求1所述的手动探针结构，其特征在于，所述镜盘设有转动调节把手。6.如权利要求1所述的手动探针结构，其特征在于，所述探针悬臂设有按压旋钮。7.如权利要求1所述的手动探针结构，其特征在于，所述镜盘与所述镜头座之间设有定位机构，用于对镜盘起定位作用。8.如权利要求7所述的手动探针结构，其特征在于，所述定位机构包括设于所述镜盘的卡头和设于所述镜头座设有卡槽，所述镜盘设有卡头盲孔，所述卡头嵌装于所述卡头盲孔中，且所述卡头与卡头盲孔的底部之间设有顶持弹簧，所述卡头具有一个球面，所述卡槽为半球面凹槽，在所述顶持弹簧的弹性作用下，所述卡头的球面可部分卡入所述卡槽中。9.如权利要求1所述的手动探针结构，其特征在于，所述镜头为五个。10.如权利要求1所述的手动探针结构，其特征在于，所述镜头的中心涂有十字标记，并设有刻度线。2CN104655886A说明书1/4页手动探针结构技术领域[0001]本发明涉及基板生产技术领域，特别是涉及一种手动探针结构。背景技术[0002]目前，TFT-LCD(薄膜晶体管)在显示领域得到广泛的应用，在液晶屏生产制造过程中，薄膜晶体管阵列基板的生产是非常重要的一环。薄膜晶体管阵列基板性能的优劣，对显示器最终的显示效果有着重要的影响，薄膜晶体管阵列基板的检测显得尤为重要。[0003]在阵列基板的检测中，探针得到广泛应用。在检测时，需要使用不同倍率的镜头进行检测，现有技术需要手动探针结构，需要使用者通过更换不同倍率的镜头进行检测，检测时费时费力，而且对位效果差，检测不准确。同时，广泛应用的探针为简单金属针状结构，由于阵列基板的一些固定测试点尺寸非常小，经常出现探针与基板表面测试点很难接触上，需要反复“扎针”尝试，而且有时会因接触状况不佳影响测试结果的准确性。另外，探针与测试样品表面直接接触，会造成样品表面的划伤损坏，而且随着使用时间的增长，由于探针的磨损，以及薄膜晶体管阵列基板表面金属层较薄，基板表面测试点一般非常微小等原因，会导致探针与测试样品之间无法良好接触，造成测试误差或错误。发明内容[0004](一)要解决的技术问题[0005]本发明的目的是提供一种能够解决现