一种晶圆加工设备及晶圆加工方法.pdf
一吃****永贺
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一种晶圆加工设备及晶圆加工方法.pdf
本发明公开了一种晶圆加工设备及晶圆加工方法,包括机架、储料机构、对位机构、用于对产品的DAF膜进行冷扩的冷扩机构、用于对产品的UV膜进行热缩的热缩机构、清洗机构以及UV解胶机构,还包括推移夹取组件和中转台、用于将储料机构中的产品转移至对位机构的一号转移机构、用于将对位机构中的产品转移至中转台的二号转移机构、用于将产品在冷扩机构和中转台之间转运的推移夹取组件、用于将中转台中的产品转移至热缩机构的三号转移机构,三号转移机构还用于将热缩机构中的产品转移至清洗机构,一号转移机构还用于将产品在清洗机构和UV解胶机构
晶圆加工装置及晶圆加工方法.pdf
本发明涉及一种晶圆加工装置及晶圆加工方法。该晶圆加工装置包括:晶圆固定机构,包括设置于其顶部的真空吸盘,所述真空吸盘用于吸附固定晶圆;密封盖板,其环绕所述晶圆固定机构地设置于所述真空吸盘的下方,用于密封所述晶圆固定机构;多个氮气喷嘴,设置于所述密封盖板上,至少部分所述氮气喷嘴用于朝向所述晶圆的背面喷射氮气;其中,所述多个氮气喷嘴被构造为在所述晶圆的径向上由内向外地喷射氮气;以及控制单元,配置为在加工晶圆时控制所述多个氮气喷嘴实时地喷射氮气。本发明的晶圆加工装置能够很好地减少晶圆背面形成的脏污,且所耗费的氮
晶圆支撑件、晶圆加工装置及晶圆加工方法.pdf
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一种晶圆加工设备及炉管晶圆加工时间的调节方法.pdf
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晶圆治具、晶圆结构及晶圆的加工方法.pdf
本发明提供一种晶圆治具、晶圆结构及晶圆的加工方法,可避免晶圆的边缘破裂且可解决晶圆与机台不兼容的问题。晶圆结构包括环状支撑部及至少一延伸部。延伸部从环状支撑部的内缘延伸出且具有环状接触面,其中环状接触面具有倾斜角度而不平行于水平面。