晶棒测试设备及晶棒电学性能的测试方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115951090A(43)申请公布日2023.04.11(21)申请号202310015037.0(22)申请日2023.01.04(71)申请人四川晶科能源有限公司地址614802四川省乐山市五通桥区桥沟镇十字街10号(72)发明人朱强王荣张亮(74)专利代理机构上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙)31260专利代理师成丽杰(51)Int.Cl.G01R1/02(2006.01)G01R1/04(2006.01)权利要求书1页说明书7页附图3页(54)发明名称晶棒测试设备及晶棒电学性能的测试方法(57)摘要本申请实施例提供一种晶棒测试设备及晶棒电学性能的测试方法，晶棒测试设备包括运输机构；夹持机构，夹持机构的一端与运输机构连接，夹持机构具有夹持端，夹持端用于夹持电性检测设备，且夹持机构相对于运输机构的位置可调整，以使夹持端达到检测工位，使电性检测设备对位于检测工位的晶棒进行检测，并在检测完成后使夹持端离开检测工位。本申请实施例至少可以提高对晶棒进行电学性能检测的效率并减少检测结果的误差。CN115951090ACN115951090A权利要求书1/1页1.一种晶棒测试设备，其特征在于，包括：运输机构；夹持机构，所述夹持机构的一端与所述运输机构连接，所述夹持机构具有夹持端，所述夹持端用于夹持电性检测设备，且所述夹持机构相对于所述运输机构的位置可调整，以使所述夹持端达到检测工位，使所述电性检测设备对位于所述检测工位的晶棒进行检测，并在检测完成后使所述夹持端离开所述检测工位。2.如权利要求1所述的晶棒测试设备，其特征在于，所述夹持机构包括：机械臂结构，所述机械臂结构的一端与所述运输机构连接，且所述机械臂结构相对于所述运输机构的位置可调整；夹持部，所述夹持部具有所述夹持端，且与所述机械臂结构的另一端连接。3.如权利要求2所述的晶棒测试设备，其特征在于，所述机械臂结构包括：机械臂本体以及驱动部件，所述夹持部与一所述机械臂本体连接，所述驱动部件用于驱动所述机械臂本体绕转动轴转动。4.如权利要求3所述的晶棒测试设备，其特征在于，所述机械臂结构包括多个所述机械臂本体，且每一所述机械臂本体沿不同的方向延伸，每一所述机械臂本体的所述转动轴不同。5.如权利要求4所述的晶棒测试设备，其特征在于，所述驱动部件包括多个电机驱动轴连接在相邻的所述机械臂本体之间。6.如权利要求2所述的晶棒测试设备，其特征在于，所述晶棒测试设备还包括夹持部安装底座，所述夹持部安装底座配置在所述机械臂结构与所述夹持部之间，以连接所述夹持部与所述机械臂结构。7.如权利要求2所述的晶棒测试设备，其特征在于，所述夹持机构还包括：外壳，所述外壳环绕所述夹持部且具有敞口。8.如权利要求7所述的晶棒测试设备，其特征在于，所述外壳上设置有贯穿所述外壳的可调固定螺丝，所述可调固定螺丝用于连接所述外壳、所述夹持部以及所述电性检测设备。9.如权利要求7所述的晶棒测试设备，其特征在于，所述夹持机构还包括多个弹簧缓冲器，所述弹簧缓冲器设置于所述外壳背离所述机械臂结构的侧面上。10.如权利要求1所述的晶棒测试设备，其特征在于，还包括：光电距离检测开关，设置在所述夹持机构上，用于检测所述电性检测设备与位于所述检测工位上的所述晶棒之间的距离。11.一种采用如权利要求1‑10任一项所述的晶棒测试设备进行晶棒电学性能的测试方法，其特征在于，包括：采用运输机构将所述晶棒传输至检测工位；调整所述夹持机构相对于所述运输机构的位置，以使所述夹持端达到所述检测工位，以使所述电性检测设备对位于所述检测工位的所述晶棒进行检测；在完成检测后，调整所述夹持机构相对于所述运输机构的位置，使所述夹持端离开所述检测工位。2CN115951090A说明书1/7页晶棒测试设备及晶棒电学性能的测试方法技术领域[0001]本申请实施例涉及晶棒检测设备领域，特别涉及一种晶棒测试设备及晶棒电学性能的测试方法。背景技术[0002]晶棒是半导体生产的基础材料。在对晶棒进行加工前，需要对晶棒进行清洁以及检测，晶棒品质检测合格后，才能投入使用。其中，晶棒的电学性能是体现晶棒品质好坏的重要指标，目前检测晶棒的电学性能的方法包括人工检测，然而随着半导体产业的发展，对晶棒的需求量的增大，且对晶棒的电学性能的要求提高，从而对晶棒进行电学性能检测的工作量增加。[0003]因此，对晶棒进行电学性能检测的方法有待改善。发明内容[0004]本申请实施例提供一种晶棒测试设备及晶棒电学性能的测试方法，至少有利于提高对晶棒进行电学性能检测的效率。[0005]根据本申请一些实施例，本申请实施例一方面提供一种晶棒测试设备，包括：运输机构；夹持机构，所述夹持机构的一端与所述运输机构连接，所述夹持机构具有夹持端，所