一种碳化硅晶棒用多线切割机.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115946254A(43)申请公布日2023.04.11(21)申请号202310193794.7(22)申请日2023.03.02(71)申请人南通罡丰科技有限公司地址226000江苏省南通市崇川区高新区金桥西路一号聚恒工业园12号(72)发明人奚衍罡(74)专利代理机构江苏南通瀛信专利代理事务所(普通合伙)32579专利代理师郝鹏(51)Int.Cl.B28D5/04(2006.01)B28D7/04(2006.01)B28D7/00(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图6页(54)发明名称一种碳化硅晶棒用多线切割机(57)摘要本发明公开了一种碳化硅晶棒用多线切割机，包括机台，所述机台顶面垂直固接机架，所述机架一侧中心位置水平转动连接两个切割槽辊。本发明采用钨线作为切割线，经过实际切割后测量，切割出的产品厚度偏差小、平坦度小、弯曲度小、翘曲度也更小，提高了切割质量，本发明中送料结构采用双重送料方式，前段的提升速度快，提高了送料的效率，在切割时，压力传感器会一直检测晶棒本体受到的压力，根据该压力数值调节调速电机转速，避免晶棒本体送料速度不适导致切割线断裂的现象，本发明供液组件中设置了流量调节阀，达到根据晶棒本体切割深度来试试调节切削液流量的效果，降低了切削液流出对切割翘曲度的影响。CN115946254ACN115946254A权利要求书1/2页1.一种碳化硅晶棒用多线切割机，包括机台(1)，其特征在于：所述机台(1)顶面垂直固接机架(2)，所述机架(2)一侧中心位置水平转动连接两个切割槽辊(21)，所述机台(1)侧壁位于两个切割槽辊(21)之间中心位置正上方转动连接主动槽辊(22)，所述主动槽辊(22)及两个切割槽辊(21)上缠绕切割线(3)，所述切割线(3)为钨线，所述切割线(3)直径为0.07‑0.1mm，所述机台(1)侧壁底面与两个切割槽辊(21)之间位置之间开设安装口(23)，所述安装口(23)内设置有送料结构(4)；所述送料结构(4)包括升降壳(41)，所述升降壳(41)插接在安装口(23)内，所述升降壳(41)远离机架(2)一侧开设主滑槽(42)，所述主滑槽(42)内垂直滑动连接滑移壳(43)，所述滑移壳(43)远离升降壳(41)一侧开设子滑槽(44)，所述子滑槽(44)内垂直滑动连接滑块(45)，所述滑块(45)侧壁水平固接升降台(46)，所述升降台(46)顶面固接鸠尾座(47)，所述鸠尾座(47)顶面粘接晶棒本体(48)；所述主滑槽(42)底面中心位置固定嵌接主电机(412)，所述主电机(412)顶端固接长丝杆(413)，所述滑移壳(43)内垂直固接第一螺纹套筒(414)，所述长丝杆(413)螺纹连接第一螺纹套筒(414)，所述滑移壳(43)底面固定嵌接调速电机(415)及减速机(416)，所述减速机(416)转轴端固接减速机(416)输入轴，所述减速机(416)输出轴固接短丝杆(417)，所述滑块(45)内垂直固接第二螺纹套筒(418)，所述短丝杆(417)螺纹连接第二螺纹套筒(418)，所述升降台(46)与鸠尾座(47)之间固接压力传感器(49)，所述压力传感器(49)控制调速电机(415)，所述调速电机(415)为变频电机、步进电机或伺服电机中的一种，所述升降台(46)顶面两侧固接两个摄像头(411)，所述机台(1)顶面一侧固接控制面板(11)及显示屏(12)，所述显示屏(12)与摄像头(411)信号连接。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶棒用多线切割机，其特征在于：所述机架(2)上设置有供液组件(5)，所述供液组件(5)包括液盒(51)及两个供液主管(52)，两个所述供液主管(52)固接在机架(2)位于两个切割槽辊(21)之间位置，所述机架(2)远离切割槽辊(21)一侧固接液盒(51)及两个流量调节阀(54)，两个所述流量调节阀(54)连通两个供液主管(52)，所述供液主管(52)底面连通多个供液子管(53)，所述液盒(51)内填充切削液(510)，所述切削液(510)为密度为0.8Kg/m3‑1.2Kg/m3的金刚石砂浆。3.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶棒用多线切割机，其特征在于：所述液盒(51)连通供液泵(56)，所述供液泵(56)连通两个输液管(55)，两个所述输液管(55)连通两个流量调节阀(54)，所述鸠尾座(47)表面固接温度传感器(410)，所述温度传感器(410)接触晶棒本体(48)，所述温度传感器(410)控制流量调节阀(54)开度，所述机架(2)远离切割槽辊(21)一侧固接机壳(212)，所述机壳(212)上水平开设开口(214)，所述液盒(51)侧壁穿过开口(214)并连通加液盒(57)，所述加液盒