晶棒线切割机.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107364021A(43)申请公布日2017.11.21(21)申请号201710500689.8(22)申请日2017.06.27(71)申请人云南蓝晶科技有限公司地址653101云南省玉溪市红塔区北城镇皂角营(72)发明人吴康吴龙驹殷国祥王鸿伟黄国洪(51)Int.Cl.B28D5/04(2006.01)B28D7/04(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称晶棒线切割机(57)摘要晶棒线切割机，由绕线装置、张紧装置和晶棒定位装置组成，绕线装置由绕线筒和纵移车组成，纵移车安装在工作台前端的前纵向滑轨上，纵移车的绕线筒一端接绕线电机，另一端通过纵移车变速器驱动前纵移丝杆转动，张紧装置安装在安装板正面，由导线轮和张紧轮组成，张紧轮压在切割线上，晶棒定位装置安装在工作台后瑞，包括滑座、晶棒夹头和晶棒转动机构，滑座由后纵向滑轨和后纵移滑板组成，晶棒转动机构的夹头变速器和夹头转动电机安装在晶棒转动机构的底板上，晶棒的夹头安装在夹头变速器的输出端，切割线经过晶棒的轴线。采用本技术，切割时切出的晶片切口较窄、毛边较小，减小晶棒的损耗；由于晶棒自身高速转动，晶棒的切割速度大幅提高。CN107364021ACN107364021A权利要求书1/1页1.晶棒线切割机，其特征在于：该切割机由绕线装置、张紧装置和晶棒定位装置组成，绕线装置由绕线筒（8）和纵移车（4）组成，纵移车（4）的底板安装在工作台（1）前端的前纵向滑轨（2）上，在前纵向滑轨（2）的两端安装有行程开关（3），纵移车（4）的底板上安装有两块固定板（6），绕线筒（8）安装在两个固定板（6）的之间，在绕线筒（8）上绕有切割线（7），在固定板（6）的一端外侧安装有绕线电机（5），绕线电机（5）与绕线筒（8）转轴连接，绕线筒（8）转轴的另一端安装有纵移车变速器（9），纵移车变速器（9）上安装有竖向传动丝杆（10），在竖向传动丝杆（10）的下端头安装有锥形盘（11）；在纵移车（4）底板下安装有纵移车纵移丝杆（13），在纵移车纵移丝杆（13）的端头安装有锥形齿轮（12），锥形盘（11）与锥形齿轮（12）相配合，纵移车纵移丝杆（13）上套装的固定螺母固定安装在工作台（1）上，行程开关（3）和绕线电机（5）通过信号线与控制器（14）连接；张紧装置安装在工作台（1）中部的安装板（15）正面，由导线轮（16）和张紧轮（18）组成，导线轮（16）有多个，分为上下对称的两组，切割线（7）绕过导线轮（16），在上下两组导线轮（16）之间安装板（15）上的对称安装有摆动杆（17），摆动杆（17）的前端安装张紧轮（18），张紧轮（18）压在切割线（7）上，摆动杆（17）前端安装有张紧拉簧（19），张紧拉簧（19）一端固定在安装板（15）中部，在安装板（15）上安装有冷却液喷头（20），在冷却液喷头（20）下方的工作台（1）上设置有集水槽（31）；晶棒定位装置安装在工作台（1）后瑞，该装置包括滑座、晶棒夹头和晶棒转动机构，滑座由后纵向滑轨（27）和后纵移滑板（30）组成，后纵向滑轨（27）安装在工作台（1）上，后纵移滑板（30）安装在后纵向滑轨（27）上，后纵移滑板（30）下底设置有后纵移丝杆（29），后纵移丝杆（29）外端安装后纵移手柄（28），后纵移丝杆（29）上套装的固定螺母固定安装在工作台（1）上，后纵移滑板（30）上面设计有后横向滑轨，晶棒转动机构的底板安装在后横向滑轨上，晶棒转动机构的底板下设置有后横移丝杆（25），后横移丝杆（25）外端安装有后横移手柄（26），后横移丝杆（25）上套装的固定螺母固定安装在后纵移滑板（30）上，晶棒转动机构的夹头变速器（23）和夹头转动电机（24）安装在晶棒转动机构的底板上，夹头转动电机（24）转轴与夹头变速器（23）连接，夹头转动电机（24）通过信号线与控制器（14）连接；晶棒（21）的夹头（22）安装在夹头变速器（23）的输出端，切割线（7）经过晶棒（21）的轴线。2.如权利要求1所述的晶棒线切割机，其特征在于：安装在晶棒转动机构的夹头变速器（23）上的夹头（22）有上下并列的两个。2CN107364021A说明书1/3页晶棒线切割机技术领域[0001]本技术属于切割晶棒的专用设备技术领域，涉及一种晶棒线切割机。背景技术[0002]在生产晶片的工艺中，需要对圆柱形晶棒的端头进行切断，现有技术中，切断晶棒的端头时，首先将晶棒固定在切割机的夹具内，切割机的切刀为圆形砂轮刀片，操作人员对晶棒定位后，启动电机带动切刀转动，开始对晶棒端头切割。由于刀片具有一定的厚度，切割晶棒时，切口较大，导致晶棒的损耗较多；在切割时，如果刀片转速较大，刀片会在切口两侧碰碎晶体，造成切