一种基片样品架、掩模板及基片更换方法及蒸镀设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108411249A(43)申请公布日2018.08.17(21)申请号201810263233.9(22)申请日2018.03.28(71)申请人江苏集萃有机光电技术研究所有限公司地址215200江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道1198号(72)发明人廖良生黄稳武启飞(51)Int.Cl.C23C14/04(2006.01)C23C14/12(2006.01)C23C14/24(2006.01)C23C14/50(2006.01)H01L51/56(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图13页(54)发明名称一种基片样品架、掩模板及基片更换方法及蒸镀设备(57)摘要本发明公开了一种基片样品架、掩模板及基片更换方法及蒸镀设备，属于OLED真空蒸镀装备领域。本发明的目的是解决现有装置设备复杂，工作效率低下的问题。本发明的基片样品架包括支撑架和基片架，通过在支撑架上设置一组凸台，使基片架下方可形成一用于掩模板架放入的操作空间，以便于快速更换掩模板。本发明还公开一种掩模板更换方法，首先将实际作业位置的掩模板架与基片架置于暂存位置；然后更换掩模板；最后将基片架与掩模板架重新对位并放置于实际作业位置。本发明还公开一种基片更换方法，首先将掩模板置于基片架上，再将基片从基片架上取出更换，再将掩模版与基片架重新对位，放置于作业位置。本发明可以应用于半导体器件的薄膜沉积等制程。CN108411249ACN108411249A权利要求书1/1页1.一种基片样品架，包括：支撑架、基片架，其特征在于，所述支撑架上设置有第一对位结构，所述基片架上设置有第二对位结构，所述第二对位结构可与所述第一对位结构相配合，可使所述基片架与所述支撑架对位；所述支撑架上设置有至少一凸台，用于支撑所述基片架。2.根据权利要求1所述的基片样品架，其特征在于，所述基片样品架还包括一掩模板架；所述基片架上设置有第三对位结构，所述掩模板架上设置有第四对位结构，所述第四对位结构与所述第三对位结构相配合，可使所述掩模板架与所述基片架对位。3.根据权利要求1所述的基片样品架，其特征在于，所述凸台上还设置有第五对位结构，所述第五对位结构可与所述基片架上的第一对位结构配合。4.根据权利要求1所述的基片样品架，其特征在于，所述支撑架为一“匚”字形结构，所述“匚”字形结构的内侧设置有与所述支撑架上表面平行的凹陷式台阶，使所述掩模板架可放置于所述台阶上，嵌入在所述支撑架中。5.根据权利要求3或4任意一项所述的基片样品架，其特征在于，所述第一和第五对位结构为对位孔，所述第二对位结构为对位销；或所述第一和第五对位结构为对位销，所述第二对位结构为对位孔。6.根据权利要求5所述的基片样品架，其特征在于，所述对位销的上底面面积小于下底面面积，所述上底面为对位销远离其所在架体的端面。7.根据权利要求1所述的基片样品架，其特征在于，还包括盖板，所述盖板通过连接杆与支撑架连接，在所述盖板与所述支持架之间形成一可允许机械臂托动所述基片架或掩模板架进出的操作空间。8.一种掩模板更换方法，其特征在于，具体步骤包括：步骤1：将位于实际作业位置上的基片架与掩模板架构成的组合体放置于暂存位置；步骤2：将载有掩模板的掩模板架取出并更换掩模板；步骤3：将载有更换后的掩模板的掩模板架与基片架在暂存位置对位；步骤4：将对位后的基片架与掩模板架构成的组合体重新置于实际工作位置。9.根据权利要求8所述的掩模板更换方法，其特征在于，基片架置于所述暂存位置时，基片架与支撑架之间形成一供掩模板架进出的操作空间。10.一种基片更换方法，其特征在于，具体步骤包括：步骤1：将位于实际作业位置的基片架与掩模板架构成的组合体放置于暂存位置，此时掩模板架与基片架脱离；步骤2：将载有掩模板的掩模板架放置于支撑架的凹陷式台阶上；步骤3：将基片架上的基片取出并更换；步骤4：将更换后的基片重新放置于基片架内；步骤5：将载有掩模板的掩模板架与基片架在暂存位置对位；步骤6：将对位后的基片架与掩模板架构成的组合体重新置于实际工作位置。11.一种蒸镀设备，其特征在于，包含权利要求1-7中任意一项所述的基片样品架。2CN108411249A说明书1/6页一种基片样品架、掩模板及基片更换方法及蒸镀设备技术领域[0001]本发明涉及OLED真空蒸镀装备领域，具体涉及一种基片样品架、掩模板及基片更换方法及蒸镀设备。背景技术[0002]有机发光二极管(OLED)技术，是一种可用于显示及照明的固态发光技术，近年来得到了迅速发展，目前OLED面板主要通过真空蒸发镀膜的方法制备。在高校和研究所等科研单位，很多科研人员在做OLED有机材料的蒸镀研究，推动了中小型蒸镀设备的发展，提高研发效率。基片在蒸镀过