探针卡装置及双臂式探针.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115963300A(43)申请公布日2023.04.14(21)申请号202011373644.7(22)申请日2020.11.30(71)申请人台湾中华精测科技股份有限公司地址中国台湾桃园市(72)发明人谢开杰苏伟志陈弘明李帅(74)专利代理机构隆天知识产权代理有限公司72003专利代理师聂慧荃闫华(51)Int.Cl.G01R1/067(2006.01)G01R1/073(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图12页(54)发明名称探针卡装置及双臂式探针(57)摘要本发明公开一种探针卡装置及双臂式探针，所述双臂式探针具有一针长度，并包括分别位于两端的一分叉端部及一测试端部。所述双臂式探针的外表面包含分别位于相反侧的两个宽侧面。所述双臂式探针自所述分叉端部的分叉口朝向所述测试端部延伸形成有自两个所述宽侧面的其中之一贯穿至其中另一的一分隔槽，据以通过所述分隔槽而定义有彼此间隔一距离的两个支臂。所述双臂式探针的所述分隔槽的一槽长度是介于所述针长度的50％～90％。于所述双臂式探针的两个支臂的截面中，任一个所述支臂的截面积为另一个所述支臂的截面积的90％～110％。据此，所述双臂式探针可以通过两个所述支臂的结构设计，以使多个所述双臂式探针可具备相近电传导特性及相近的机械特性。CN115963300ACN115963300A权利要求书1/2页1.一种探针卡装置，其特征在于，所述探针卡装置包括：一第一导板单元与一第二导板单元，其彼此间隔地设置；以及多个双臂式探针，穿设于所述第一导板单元与所述第二导板单元；每个所述双臂式探针定义有一长度方向且在所述长度方向上具有一针长度，并且每个所述双臂式探针的外表面包含有平行所述长度方向且分别位于相反两侧的两个宽侧面；其中，每个所述双臂式探针包含有：一分叉端部，位于远离所述第二导板单元的所述第一导板单元的一外侧，并且所述分叉端部具有一分叉口；及一测试端部，位于远离所述第一导板单元的所述第二导板单元的一外侧，并且所述测试端部用来可分离地顶抵于一待测物；其中，每个所述双臂式探针自所述分叉口沿所述长度方向朝向所述测试端部延伸形成有自两个所述宽侧面的其中之一贯穿至其中另一的一分隔槽，以使每个所述双臂式探针通过所述分隔槽而定义有彼此间隔一距离的两个支臂；其中，每个所述双臂式探针的所述分隔槽在所述长度方向上的一槽长度是介于所述针长度的50％～90％，而多个所述双臂式探针的其中一个所述双臂式探针的所述距离不同于其中另一个所述双臂式探针的所述距离；其中，于垂直所述长度方向的每个所述双臂式探针的两个所述支臂的截面中，任一个所述支臂的截面积为另一个所述支臂的截面积的90％～110％。2.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，至少一个所述双臂式探针在两个所述支臂彼此相向的两个内表面的其中一个所述内表面上形成有呈突出状的至少一个间隔肋；其中，当所述第一导板单元与所述第二导板单元彼此斜向错位时，具有至少一个所述间隔肋的至少一个所述双臂式探针，其两个所述支臂通过至少一个所述间隔肋而保持彼此间隔。3.依据权利要求2所述的探针卡装置，其特征在于，在具有至少一个所述间隔肋的至少一个所述双臂式探针中，两个所述内表面的其中另一个所述内表面凹设形成有位置对应于至少一个所述间隔肋的至少一个限位缺口，并且至少一个所述限位缺口的深度小于至少一个所述间隔肋的高度。4.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，位于所述第一导板单元内的每个所述双臂式探针的部位定义为一第一连接部，并且位于所述第二导板单元内的每个所述双臂式探针的部位定义为一第二连接部；于至少一个所述双臂式探针中，所述分隔槽是自所述分叉口延伸至所述第二连接部。5.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，位于所述第一导板单元与所述第二导板单元之间的每个所述双臂式探针的部位定义为一行程部；于每个所述双臂式探针中，所述行程部的两个末端部位各在任一个所述宽侧面上的宽度大于位于两个所述末端部位之间的所述行程部的主体部位在任一个所述宽侧面上的宽度。6.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，所述探针卡装置进一步包含有邻近所述第一导板单元的一信号转接板；在至少一个所述双臂式探针中，两个所述支臂在所述长度方向上具有不同的长度，并且两个所述支臂仅其中一个所述支臂顶抵于所述信号转接板。7.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，所述探针卡装置进一步包含有邻近2CN115963300A权利要求书2/2页所述第一导板单元的一信号转接板；在至少一个所述双臂式探针中，两个所述支臂在所述长度方向上具有相同的长度，并且两个所述支臂一同顶抵于所述信号转接板。8.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，每个所述双臂式探针的所述外表