垂直型探针以及具备其的探针卡.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115917331A(43)申请公布日2023.04.04(21)申请号202180048692.5(74)专利代理机构北京市汉坤律师事务所(22)申请日2021.07.0711602专利代理师王其文张涛(30)优先权数据10-2020-00844632020.07.09KR(51)Int.Cl.G01R1/067(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2023.01.06(86)PCT国际申请的申请数据PCT/KR2021/0086162021.07.07(87)PCT国际申请的公布数据WO2022/010246KO2022.01.13(71)申请人TSE有限公司地址韩国忠清南道(72)发明人孙锡豪朱煐勋权利要求书2页说明书6页附图7页(54)发明名称垂直型探针以及具备其的探针卡(57)摘要本发明涉及垂直型探针以及探针卡，本发明的垂直型探针包括：弹性梁部，配置在与待测试设备接触的下部接触部和相对于所述下部接触部隔开一定间隔配置而与测试装置接触的上部接触部之间，由具有一定间隙的一对弹性梁构成以能够通过外力弹性变形；以及防脱离突起部，在所述一对弹性梁中的至少一个弹性梁上设置有突出形成的防脱离突起以防所述弹性梁部通过所述上部导向孔发生脱离。CN115917331ACN115917331A权利要求书1/2页1.一种探针，其作为用于探针卡中的探针，所述探针卡包括在具有至少一个上部导向孔的上板以及具有至少一个下部导向孔的下板依次结合的所述探针，其中，所述探针包括：弹性梁部，配置在与待测试设备接触的下部接触部和相对于所述下部接触部隔开一定间隔配置而与测试装置接触的上部接触部之间，由具有一定间隙的一对弹性梁构成以能够通过外力弹性变形；以及防脱离突起部，在所述一对弹性梁中的至少一个弹性梁上设置有突出形成的防脱离突起以防所述弹性梁部通过所述上部导向孔发生脱离，所述弹性梁部形成为在通过所述上部导向孔而被插入时，通过由所述防脱离突起部和上部导向孔的接触产生的力而被弹性变形，从而弹性梁之间的间隙变小，在通过所述上部导向孔而被插入结合的状态下，使包括所述防脱离突起的一对弹性梁之间的距离相比所述上部导向孔的直径更大。2.根据权利要求1所述的探针，其中，所述弹性梁部包括：第一弹性梁，一端与所述上部接触部的一侧连接，另一端与所述下部接触部的一侧连接；第二弹性梁，从所述第一弹性梁隔开一定间隔配置，而且一端与所述上部接触部的另一侧连接，另一端与所述下部接触部的另一侧连接；以及弹性间隙，形成在所述第一弹性梁和所述第二弹性梁之间的隔开的空间内。3.根据权利要求2所述的探针，其中，所述防脱离突起部包括：第一防脱离突起，从所述第一弹性梁的外侧朝水平方向突出形成；以及第二防脱离突起，突出形成在所述第二弹性梁的外侧，并朝所述第一防脱离突起的相反方向突出形成。4.根据权利要求3所述的探针，其中，所述第一防脱离突起和所述第二防脱离突起形成在相对的位置。5.根据权利要求1所述的探针，其中，在所述弹性梁部和所述下部接触部连接的部位具备扩张部，所述扩张部具有比下部导向孔的直径大的宽度，所述扩张部在所述弹性梁部发生破损时，防止所述探针通过导向孔掉落。6.一种探针卡，其包括：下板，具有至少一个下部导向孔；上板，与所述下板隔开设置，具有与所述下部导向孔相对应的上部导向孔；探针，设置有弹性梁部，所述弹性梁部配置在与待测试设备接触的下部接触部和相对于所述下部接触部隔开一定间隔配置而与测试装置接触的上部接触部之间，由具有一定间隙的一对弹性梁构成以能够通过外力弹性变形；以及防脱离突起部，在所述一对弹性梁中的至少一个弹性梁上设置有突出形成的防脱离突起以防所述弹性梁部通过所述上部导向孔发生脱离，所述弹性梁部形成为在通过所述上部导向孔而被插入时，通过由所述防脱离突起部和上部导向孔的接触产生的力而被弹性变形，从而弹性梁之间的间隙变小，在通过所述上部导向孔而被插入结合的状态下，使包括所述防脱离突起的一对弹性梁之间的距离相比所述上部导向孔的直径更大。2CN115917331A权利要求书2/2页7.根据权利要求6所述的探针卡，其中，所述弹性梁部包括：第一弹性梁，一端与所述上部接触部的一侧连接，另一端与所述下部接触部的一侧连接；第二弹性梁，从所述第一弹性梁隔开一定间隔配置，而且一端与所述上部接触部的另一侧连接，另一端与所述下部接触部的另一侧连接；以及弹性间隙，形成在所述第一弹性梁和所述第二弹性梁之间的隔开的空间内。8.根据权利要求7所述的探针卡，其中，所述防脱离突起部包括：第一防脱离突起，从所述第一弹性梁的外侧朝水平方向突出形成；以及第二防脱离突起，突出形成在所述第二弹性梁的外侧，并朝所述第一防脱离突起的相反方向突出形成。9.根据权利要