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本发明涉一种薄膜探针卡装置,包括一支撑座(1)、突设于支撑座(1)的凸台(131)、覆盖凸台的薄膜(2)、设置于薄膜的探针(3)和互连线;其特征在于:支撑座(1)包括座体(11)、金属弹性片(12)以及弹性凸台件(13),金属弹性片(12)的外周边缘搭置于座体(11)的空腔(111)的口上,弹性凸台件(13)盖置于金属弹性片(22)之下,弹性凸台件(13)的外周相对座体(11)固定,弹性凸台件(13)的中部朝下突设所述凸台(131),弹性凸台件(13)与座体(11)两者将金属弹性片(12)的边缘夹持固定。本发明以弹性凸台件组合上金属弹性片提供一微弹力,结构可靠、弹力稳定,寿命长。