一种薄膜探针卡装置.pdf
俊凤****bb
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相关资料
一种薄膜探针卡装置.pdf
本发明涉一种薄膜探针卡装置,包括一支撑座(1)、突设于支撑座(1)的凸台(131)、覆盖凸台的薄膜(2)、设置于薄膜的探针(3)和互连线;其特征在于:支撑座(1)包括座体(11)、金属弹性片(12)以及弹性凸台件(13),金属弹性片(12)的外周边缘搭置于座体(11)的空腔(111)的口上,弹性凸台件(13)盖置于金属弹性片(22)之下,弹性凸台件(13)的外周相对座体(11)固定,弹性凸台件(13)的中部朝下突设所述凸台(131),弹性凸台件(13)与座体(11)两者将金属弹性片(12)的边缘夹持固定。
探针卡装置及双臂式探针.pdf
本发明公开一种探针卡装置及双臂式探针,所述双臂式探针具有一针长度,并包括分别位于两端的一分叉端部及一测试端部。所述双臂式探针的外表面包含分别位于相反侧的两个宽侧面。所述双臂式探针自所述分叉端部的分叉口朝向所述测试端部延伸形成有自两个所述宽侧面的其中之一贯穿至其中另一的一分隔槽,据以通过所述分隔槽而定义有彼此间隔一距离的两个支臂。所述双臂式探针的所述分隔槽的一槽长度是介于所述针长度的50%~90%。于所述双臂式探针的两个支臂的截面中,任一个所述支臂的截面积为另一个所述支臂的截面积的90%~110%。据此,所
一种探针卡用螺丝紧固装置.pdf
本发明公开了一种探针卡用螺丝紧固装置,包括支撑柜体、工作台面、支撑杆,横杆和液压伸缩杆,所述安装室的内部放置有第一电动机,所述第一电动机的输出端通过纵向齿轮与横向齿轮转动连接,所述横向齿轮上贯穿安装有延伸至工作台面内的转动轴杆,所述支撑杆一侧的顶部通过第二电动机外壳固定安装有第二电动机,所述横杆的内部固定安装有丝杆,所述丝杆上通过滑动块滑动安装有液压伸缩杆,所述液压伸缩杆的底部通过第三电动机外壳固定安装有第三电动机,所述第三电动机的输出端通过批杆安装座固定安装有批杆。通过对电动机外壳上设置的密封板进行改进
一种用于探针卡的探针的加工方法.pdf
本发明公开了一种用于探针卡的探针的加工方法,涉及晶圆检测设备领域。其包括:(1)提供/制备合金粉末;(2)通过软件将预先设计的探针的三维图进行切片;(3)将所述合金粉末加载至3D打印机内,并采用所述合金粉末逐层打印所述切片,形成用于探针卡的探针。本发明采用3D打印成型探针,其成本低、工艺简单,可快速实现批量加工。且该加工方法可提升成品探针的尺寸精度。
一种测试探针卡.pdf
本实用新型提供一种测试探针卡,该测试探针卡的四方探针模组与电路板为可拆卸式的连接,从而便于更换,在探针损坏时无需对整个探针卡送修,减少维修周期,而且还能在同一张电路板上更换使用不同型号的探针模组,节省了电路板的资源。同时将现有的引线焊接式的连接改变为触点式连接,在对四方探针模组进行更换时,无需拆线、焊接等步骤,降低损坏风险,方便快捷。此外四方形状的结构设计能够精确地对四方探针模组进行定位,避免出现位置偏移或旋转。