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抛光垫及半导体器件的制造方法.pdf
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本发明涉及一种抛光垫及半导体器件的制造方法。所述抛光垫，通过在厚度方向上细分的结构设计，能够提供符合针对各种抛光对象的各种抛光目的的物性，并且在使用后的废弃方面，不同于现有的抛光垫，在至少一部分结构应用可再生材料或可回收材料，从而能够确保环保。具体而言，所述抛光垫，包括抛光层；所述抛光层包括：抛光可变层，具备抛光面，以及抛光不变层，设置在所述抛光可变层的所述抛光面的相反面侧；所述抛光不变层包括含有第一氨基甲酸乙酯基预聚物的第一组合物的固化物，所述第一氨基甲酸乙酯基预聚物可以为第一醇成分和第一异氰酸酯成分的
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本发明提供一种抛光垫，通过厚度方向的细分结构特性设计，可以向各种抛光对象提供适合各种抛光目的的物理特性，关于使用后的报废，与现有抛光垫不同，在至少一部分结构应用再生或可回收的材料，从而可以实现环保性。具体而言，所述抛光垫包括抛光层，所述抛光层包括：抛光可变层，其具有抛光面，以及抛光不变层，配置在所述抛光可变层的所述抛光面的背面，所述抛光不变层可包括组合物的固化物，所述组合物包含热固化性聚氨酯粒子和粘合剂。
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