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抛光垫及使用其的半导体器件的制备方法.pdf
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本发明提供一种抛光垫，通过厚度方向的细分结构特性设计，可以向各种抛光对象提供适合各种抛光目的的物理特性，关于使用后的报废，与现有抛光垫不同，在至少一部分结构应用再生或可回收的材料，从而可以实现环保性。具体而言，所述抛光垫包括抛光层，所述抛光层包括：抛光可变层，其具有抛光面，以及抛光不变层，配置在所述抛光可变层的所述抛光面的背面，所述抛光不变层可包括组合物的固化物，所述组合物包含热固化性聚氨酯粒子和粘合剂。
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