金属覆膜的成膜装置及其成膜方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115976611A(43)申请公布日2023.04.18(21)申请号202211256867.4(22)申请日2022.10.14(30)优先权数据2021-1699342021.10.15JP(71)申请人丰田自动车株式会社地址日本爱知县(72)发明人近藤春树稻垣功二黑田圭児冈本和昭(74)专利代理机构中国贸促会专利商标事务所有限公司11038专利代理师张丽(51)Int.Cl.C25D17/00(2006.01)C25D3/38(2006.01)C25D5/54(2006.01)权利要求书2页说明书12页附图7页(54)发明名称金属覆膜的成膜装置及其成膜方法(57)摘要本发明涉及金属覆膜的成膜装置及其成膜方法，抑制在金属覆膜(F)的表面产生凹凸，谋求成膜品质的提高。成膜装置(1)具备：阳极(11)；固体电解质膜(13)，配置于阳极与基材(B)之间；电源部(14)，将基材作为阴极，对阳极与基材之间施加电压；及液收纳体(15)，以分离的状态保持阳极和固体电解质膜，在阳极与固体电解质膜之间收纳包含金属离子的电解液(L)。固体电解质膜包括：中央部(13a)，是与基材和电解液接触的部分；以及外缘部(13b)，位于中央部的外侧。成膜装置具备拉膜机构(18)，在液收纳体中收纳有加热后的电解液的状态下，该拉膜机构从中央部朝向外缘部对中央部施加拉伸力，使固体电解质膜的中央部伸长。CN115976611ACN115976611A权利要求书1/2页1.一种金属覆膜的成膜装置，其特征在于，该金属覆膜的成膜装置具备：阳极；固体电解质膜，配置于所述阳极与基材之间；电源部，将所述基材作为阴极，对所述阳极与所述基材之间施加电压；以及液收纳体，以分离的状态保持所述阳极和所述固体电解质膜，在所述阳极与所述固体电解质膜之间收纳包含金属离子的电解液，在使所述固体电解质膜与所述基材接触的状态下对所述阳极与所述基材之间施加电压，将所述固体电解质膜的内部所含有的金属离子还原，从而在所述基材的表面形成金属覆膜，其中，所述固体电解质膜包括：中央部，该中央部是与所述基材和所述电解液接触的部分；以及外缘部，该外缘部位于所述中央部的外侧，所述成膜装置还具备拉膜机构，在所述液收纳体中收纳有加热后的所述电解液的状态下，所述拉膜机构从所述固体电解质膜的所述中央部朝向所述外缘部对所述中央部施加拉伸力，使所述固体电解质膜的所述中央部伸长。2.根据权利要求1所述的金属覆膜的成膜装置，其特征在于，所述拉膜机构至少包括：框体，在将所述外缘部沿着所述液收纳体的外侧面弯折的状态下，在与所述外侧面之间夹入所述外缘部；以及拉伸装置，通过使所述框体沿着所述外侧面滑动，使所述拉伸力作用于所述中央部。3.根据权利要求1所述的金属覆膜的成膜装置，其特征在于，所述拉膜机构至少包括：卷绕部，部分地卷绕所述固体电解质膜的所述外缘部；以及拉伸装置，通过在所述外缘部与所述卷绕部接触的状态下使所述卷绕部旋转，使所述拉伸力作用于所述中央部。4.根据权利要求1所述的金属覆膜的成膜装置，其特征在于，所述拉膜机构至少包括：膜支承部，支承所述固体电解质膜的所述外缘部；棒构件，抵接于所述外缘部，相对于所述固体电解质膜在所述固体电解质膜的膜厚方向上移动自如；以及拉伸装置，通过在所述外缘部由所述膜支承部支承的状态下使所述棒构件在所述膜厚方向上移动，从而使所述拉伸力作用于所述中央部。5.根据权利要求1所述的金属覆膜的成膜装置，其特征在于，该金属覆膜的成膜装置具备：第1温度传感器，检测所述固体电解质膜的温度；第2温度传感器，检测所述基材的温度；第3温度传感器，检测所述电解液的温度；以及控制装置，接收在所述液收纳体中收纳有所述电解液的状态下的来自所述第1温度传感器的第1温度信息、来自所述第2温度传感器的第2温度信息以及来自所述第3温度传感器的第3温度信息，在所述第1温度信息、所述第2温度信息以及所述第3温度信息处于预定范围内的情况下，进行使所述拉膜机构工作的控制。6.一种金属覆膜的成膜方法，其特征在于，在通过电解液的液压而利用固体电解质膜按压基材的状态下，对阳极与作为阴极的基2CN115976611A权利要求书2/2页材之间施加电压，将所述固体电解质膜的内部所含有的金属离子还原，从而在所述基材的表面形成金属覆膜，所述成膜方法包括如下工序：使所述固体电解质膜与所述基材的表面接触；在所述阳极与所述固体电解质膜之间收纳加热后的所述电解液；在收纳有所述电解液的状态下，以使所述固体电解质膜中的与所述基材和所述电解液接触的部分即中央部伸长的方式，从所述中央部朝向位于所述中央部的外侧的外缘部对所述中央部施加拉伸力，从而进行所述固体电解质膜的拉膜；以及在通过所收纳的所述电解液的液压而利用进行