单晶炉坩埚连续加料方法及加料装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114574942A(43)申请公布日2022.06.03(21)申请号202210146095.2(22)申请日2022.02.17(71)申请人浙江晶阳机电股份有限公司地址314413浙江省嘉兴市海宁市丁桥镇联保路22号(72)发明人程旭兵赵培林(74)专利代理机构嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙)33253专利代理师王浩杰(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称单晶炉坩埚连续加料方法及加料装置(57)摘要本发明公开了单晶炉坩埚连续加料方法及加料装置，包括机架，包括：料仓，所述料仓设置在机架上部，所述料仓上方设有进料口，所述料仓下方设有加料口，所述加料口处设有锥形阀；运料机构，所述运料机构设置在机架下部，所述运料机构包括送料管、接料斗、振动器、滑轨，所述滑轨与机架连接，所述振动器设置在滑轨上，所述送料管一端与振动器上方连接，所述接料斗设置在送料管连接振动器一端的上方。本发明的有益效果为：本单晶炉坩埚连续加料装置可实现在不打开上炉盖的状态下，对单晶炉进行加料操作，使得在生产过程中的加料时间最大幅度减小，同时保证了单晶炉的生产连续性，从而缩短整个单晶炉的制备周期，提高生产效率。CN114574942ACN114574942A权利要求书1/1页1.一种单晶炉坩埚连续加料方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、锥形阀使料仓的加料口处于关闭状态，打开仓盖，向料仓内添加原料；S2、原料添加完成，关闭仓盖；S3、将出料连接口与单晶炉主体连接，将单晶炉内抽真空；S4、滑轨使振动器向出料连接口移动，送料管伸入单晶炉内，接料斗与加料口对应；S5、打开振动器，打开锥形阀，使原料从加料口落入接料斗并进入送料管；S6、称重传感器检测料仓重量，反馈加料进度；S7、原料在送料管内振动前进，并从送料管的端口落入单晶炉内的坩埚内；S8、运料机构送料弯成后，锥形阀关闭，振动器保持工作；S9、当送料管内没有原料后，振动器关闭，滑轨带动振动器回退，送料管伸出单晶炉，完成加料。2.一种基于权利要求1所述单晶炉坩埚连续加料方法的单晶炉坩埚连续加料装置，包括机架，其特征在于，包括：料仓，所述料仓设置在机架上部，所述料仓上方设有进料口，所述料仓下方设有加料口，所述加料口处设有锥形阀；运料机构，所述运料机构设置在机架下部，所述运料机构包括送料管、接料斗、振动器、滑轨，所述滑轨与机架连接，所述振动器设置在滑轨上，所述送料管一端与振动器上方连接，所述接料斗设置在送料管连接振动器一端的上方，所述接料斗与加料口配合；出料连接口，所述出料连接口设置在机架下部侧面，所述送料管远离接料斗的一端穿过出料连接口向外伸出。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉坩埚连续加料装置，其特征在于，所述进料口上设有仓盖，所述仓盖与料仓之间设有旋转杆，所述旋转杆一端与料仓侧边之间设有旋转电机，所述旋转杆另一端与仓盖之间设有升降电机。4.根据权利要求1所述的一种单晶炉坩埚连续加料装置，其特征在于，所述锥形阀包括驱动电机、升降丝杆、连接板、锥形板，所述驱动电机设置在料仓侧面，所述驱动电机与升降丝杆传动连接，所述连接板一端活动连接在升降丝杆上，所述锥形板下方与连接板另一端连接，所述锥形板与加料口配合。5.根据权利要求1所述的一种单晶炉坩埚连续加料装置，其特征在于，所述加料口下方套设有导流罩。6.根据权利要求1所述的一种单晶炉坩埚连续加料装置，其特征在于，所述料仓下部与机架之间设有称重传感器。7.根据权利要求1所述的一种单晶炉坩埚连续加料装置，其特征在于，所述送料管为石英管。8.根据权利要求1所述的一种单晶炉坩埚连续加料装置，其特征在于，所述送料管外侧套设有钼管。9.根据权利要求8所述的一种单晶炉坩埚连续加料装置，其特征在于，所述钼管端部与送料管之间设有水冷法兰。2CN114574942A说明书1/4页单晶炉坩埚连续加料方法及加料装置技术领域[0001]本发明属于单晶硅生产设备技术领域，具体涉及单晶炉坩埚连续加料方法及加料装置。背景技术[0002]单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。[0003]在使用单晶炉生产单晶硅的过程中，直拉单晶硅除了有生产流程长、工艺繁琐的缺点外，还有坩埚小，而且不能连续加料等弱点。因此，每融化一坩埚的多晶硅料只能拉一根单晶棒。每拉一根单晶棒就要降一次温，就得停一次炉，拆一次炉，清理一次热场以及过滤系统等等。不仅浪费人力、浪费能源，而且严重影响生产效率，生产成本大，不