一种高速双头全自动固晶机.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115985817A(43)申请公布日2023.04.18(21)申请号202211729695.8(22)申请日2022.12.30(71)申请人东莞市凯格精机股份有限公司地址523000广东省东莞市东城街道沙朗路2号(72)发明人邱国良张晓伟李勇雄(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227专利代理师杜嘉伟(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)H01L21/677(2006.01)H01L21/683(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图7页(54)发明名称一种高速双头全自动固晶机(57)摘要本发明公开了一种高速双头全自动固晶机，包括机台，所述机台上左右对称设有两个固晶总装机构，两组所述固晶总装机构的中间设有用于给左右两边自动更换晶环的晶元上下料装置；所述晶元上下料装置包括芯片环取放料组件、用于装载芯片环的料盒、以及设置在所述料盒底部的驱动所述上料盒升降的料盒升降组件、和用于将芯片从料盒中取出并推回的芯片环推料组件；所述芯片环取放料组件包括芯片环取料电机和连接在所述芯片环取料电机上的吸附件，所述芯片环取料电机驱动所述吸附件左右摆动以自动更换芯片环。通过在该两个固晶总装机构的中间设置晶元上下料装置，该晶元上下料装置可以给该两个固晶总装机构自动更换芯片环，提高固晶工作效率。CN115985817ACN115985817A权利要求书1/2页1.一种高速双头全自动固晶机，其特征在于，包括机台(1)，所述机台(1)上左右对称设有两个固晶总装机构(2)，两组所述固晶总装机构(2)的中间设有用于给左右两边自动更换晶环的晶元上下料装置(3)；所述晶元上下料装置(3)包括芯片环取放料组件(30)、用于装载芯片环的料盒(31)、以及设置在所述料盒(31)底部的驱动所述料盒(31)升降的料盒升降组件(32)、和用于将芯片环(100)从料盒(31)中取出并推回的芯片环推料组件(33)；所述芯片环取放料组件(30)包括芯片环取料电机(301)和连接在所述芯片环取料电机(301)上的吸附件(302)，所述芯片环取料电机(301)驱动所述吸附件(302)左右摆动以自动更换芯片环(100)。2.根据权利要求1所述的高速双头全自动固晶机，其特征在于，所述固晶总装机构(2)包括设置在所述机台(1)上的晶元支架上料装置(20)或者收料盒组件(4)、设置在所述晶元支架上料装置(20)一侧的用于给晶元支架(200)定位的支架平台组件(21)、设置在所述支架平台组件(21)一侧的顶针机构(22)；所述支架平台组件(21)和所述顶针机构(22)之间设置有用于将芯片(300)取放到支架平台上的机械臂组件(23)，所述支架平台组件(21)的上方还设有点胶机构(24)。3.根据权利要求2所述的高速双头全自动固晶机，其特征在于，所述晶元支架上料装置(20)包括设置在机台(1)下方的升降组件(201)、和所述升降组件(201)的顶部固定连接的料盒抽屉组件(202)、以及设置在所述料盒抽屉组件(202)上方的用于抓取所述晶元支架(200)的料爪组件(203)。4.根据权利要求2所述的高速双头全自动固晶机，其特征在于，所述料爪组件(203)包括顶部安装板(2030)，所述顶部安装板(2030)的底部设置有用于抓取所述晶元支架的钩爪组件(2031)、以及用于推动所述晶元支架至晶元加工台上的推料片组件(2032)，所述推料片组件(2032)设置在所述钩爪组件(2031)旁侧用于将所述晶元支架(200)推到所述支架平台组件(21)上。5.根据权利要求4所述的高速双头全自动固晶机，其特征在于，支架平台组件(21)包括设置在所述机台(1)上的第一滑轨组件(210)，所述第一滑轨组件(210)包括第一滑轨(2101)和第一直线电机动子(2102)，所述第一直线电机动子(2102)的顶面上固定安装有第二滑轨组件(211)，所述第二滑轨组件(211)包括第二滑轨(2111)和第二直线电机动子(2112)，所述第二直线电机动子(2112)上固定安装有晶元固晶平台(212)，所述晶元固晶平台(212)用于放置并定位所述晶元支架(200)。6.根据权利要求2所述的高速双头全自动固晶机，其特征在于，所述顶针机构(22)包括晶元支架放置平台(220)，所述晶元支架放置平台(220)的下方设有用于将所述晶元支架(200)蓝膜上的芯片环(100)顶起的顶升机构(221)，所述顶针机构(22)的上方设有用于拍照定位的两个CCD相机(222)。7.根据权利要求2所述的高速双头全自动固晶机，其特征在于，所述顶针机构(22)的一侧还设置有晶元环取晶位调节组件(25)，所述晶元环取晶位调节组件(25)包括调节动力机构