双臂固晶转移邦头及固晶机.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116013814A(43)申请公布日2023.04.25(21)申请号202310056973.6(22)申请日2023.01.16(71)申请人深圳市万福达智能装备有限公司地址518000广东省深圳市宝安区石岩街道水田社区祝龙田路第四工业区18号光耀工业厂区一厂房F四层(72)发明人汪金虎陈周权万傲梅向红珍(74)专利代理机构深圳市恒程创新知识产权代理有限公司44542专利代理师鄢紫君(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)H01L21/68(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图6页(54)发明名称双臂固晶转移邦头及固晶机(57)摘要本发明公开一种双臂固晶转移邦头及固晶机，其包括安装立柱、旋转模块、摆臂模块、两个视觉定位组件和两个纠偏视觉组件，安装立柱安装于机架上，安装立柱的顶部形成安装台；旋转模块固定于安装台；摆臂模块包括安装座和两个相背设置的摆臂机构，安装座与旋转模块连接；摆臂机构包括摆臂、摆臂驱动组件和吸嘴，摆臂驱动组件安装于安装座上，摆臂驱动组件与摆臂连接，吸嘴与摆臂转动连接；一视觉定位组件定位取晶位置，另一视觉定位组件定位固晶位置和检测芯片的位置精度；纠偏视觉组件检测芯片的偏转角度。本发明中，两个摆臂机构交替进行取晶固晶作业，有效地提高了固晶效率，视觉定位组件保证吸嘴定位准确的取晶位置和固晶位置，从而保证固晶精度。CN116013814ACN116013814A权利要求书1/2页1.一种双臂固晶转移邦头，安装于固晶机的机架上，其特征在于，所述双臂固晶转移邦头包括：安装立柱，所述安装立柱安装于所述机架上，所述安装立柱的顶部形成安装台，所述安装台上设有安装孔；旋转模块，所述旋转模块固定于所述安装台，且所述旋转模块的输出端伸入所述安装孔；摆臂装置，所述摆臂装置包括安装座和两个相背设置的摆臂机构，所述安装座与所述旋转装置的输出端连接；所述摆臂机构包括摆臂驱动组件、摆臂和吸嘴，所述摆臂驱动组件安装于所述安装座上，所述摆臂与所述摆臂驱动组件的输出端连接，所述摆臂驱动组件驱动所述摆臂沿竖直方向上下滑动，所述吸嘴设置于所述摆臂远离所述摆臂驱动组件的一端，且所述吸嘴与所述摆臂转动连接，所述吸嘴用于吸取和放置芯片；两个视觉定位组件，两个所述视觉定位组件均安装于所述安装台上，且两个所述视觉定位组件分别设置于所述旋转模块的两侧，一所述视觉定位组件用于定位取晶位置的芯片，另一所述视觉定位组件用于定位固晶位置和检测固后芯片的位置和角度精度；两个纠偏视觉组件，两个所述纠偏视觉组件均安装于所述机架上，且两个所述纠偏视觉组件分别位于所述安装座的两侧，所述纠偏视觉组件用于检测所述吸嘴上的芯片角度。2.如权利要求1所述的双臂固晶转移邦头，其特征在于，所述视觉定位组件包括底座、相机和视觉光源，所述底座安装于所述安装台上，所述相机包括相连接的相机主体和镜头，所述镜头沿竖直方向安装于所述底座上，所述镜头位于所述吸嘴的运动轨迹上，且两个所述镜头分别正对取晶位置和固晶位置，所述视觉光源套设于所述镜头远离所述相机主体的一端。3.如权利要求1所述的双臂固晶转移邦头，其特征在于，所述纠偏视觉组件包括纠偏调节座、镜头抱紧座和纠偏相机，所述纠偏调节座安装于所述机架上，所述镜头抱紧座安装于所述纠偏调节座上，所述镜头抱紧座上设有安装孔，所述纠偏相机沿竖直方向设置于所述安装孔中，所述纠偏相机的镜头位于所述吸嘴的运动轨迹的正下方，所述纠偏相机能够检测所述吸嘴上的芯片的偏转角度，并将检测数据传输至控制主机。4.如权利要求3所述的双臂固晶转移邦头，其特征在于，所述纠偏调节座包括纠偏底座、调节杆、第一调节座和第二调节座，所述纠偏底座安装于所述机架上，所述纠偏底座上设有固定座，所述第一调节座安装于所述纠偏底座上，所述调节杆穿过所述固定座与所述第一调节座螺纹连接，所述第一调节座上开设有腰型孔，所述第二调节座安装于所述第一调节座上，紧固件穿过所述腰型孔和所述第二调节座以连接所述第一调节座和所述第二调节座，所述镜头抱紧座安装于所述第二调节座上。5.如权利要求3所述的双臂固晶转移邦头，其特征在于，所述摆臂机构还包括纠偏驱动件和传动组件，所述纠偏驱动件安装于所述安装座上，所述传动组件的一端与所述纠偏驱动件的输出端连接，所述传动组件的另一端与所述吸嘴连接，控制主机接收到所述纠偏相机的检测数据后，控制主机控制所述纠偏驱动件通过所述传动组件带动所述吸嘴旋转以调节芯片的角度。6.如权利要求1所述的双臂固晶转移邦头，其特征在于，所述摆臂上设有多个减重槽。7.如权利要求1至6中任一项所述的双臂固晶转移邦头，其特征在于，所述旋转模块包2CN116013814A权利要求书2/2页括旋转台、旋转驱动件和第一限位块，所述旋转台