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一种离子风与静电耦合实现光学元件表面洁净的装置.pdf
2023-05-31
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小沛****文章
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一种离子风与静电耦合实现光学元件表面洁净的装置，属于洁净技术领域。目的是为了解决在人工无法达到的环境下，如何对光学元件表面进行洁净化处理，包括固定支架、光学元件、离子风系统、静电吸附系统和颗粒污染物收纳盒；离子风系统由风刀、离子棒、离子棒支架、固定支架、连接片、三自由度组合位移台组成，静电吸附系统由棒状电极、电极固定支座、手动平移台，固定支架组成，所述颗粒污染物收纳盒通过收纳盒支撑架与工作面连接。所述颗粒污染物收纳盒与收纳盒支撑架的夹角为135°。本发明的结构十分紧凑，光学元件通过固定支架，固定在底板上，
2023-05-31
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