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一种光学元件洁净转运装置.pdf
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本发明提供了一种光学元件洁净转运装置，涉及光学元件洁净转运技术领域，包括箱体、对接机构、转运机构，所述箱体内设有连通的容置腔和对接口，所述容置腔用于容置预转运的光学元件，所述对接口用于供所述光学元件进出，所述对接机构连接于所述箱体上，所述对接机构用于与光学组件的窗口连接，所述转运机构与所述箱体滑动连接，所述转运机构用于与所述光学元件连接，以从所述光学组件取下所述光学组件并将所述光学元件运至所述容置腔中。通过对接机构与光学组件的窗口密封连接，使得转运时，转运装置与箱体间具有良好的密封性，同时能直接通过转运机
2023-06-03
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一种大口径光学元件的横向在线洁净拆装装置.pdf
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2023-09-02
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