一种光学元件表面碳污染清洗方法及装置.pdf

一种光学元件表面碳污染清洗方法及装置，属于短波光学领域，为解决现有技术存在的光学元件表面的氧化，损伤光学元件表面，清洗速率较低的问题，该装置氢原子发射器、第一反射率计、分子泵、第二反射率计、射频等离子体电镜清洗仪接口安装在清洗腔外部与其端口密封、紧固，工作距离调整滑台通过支撑架与氢原子发射器联接，样品台设置在清洗腔内侧底部中心处，石英天平和样品设置在样品台上，入射角度调整转台从清洗腔底部与样品台联接；该清洗方法可实现对样品的粗精清洗，不仅避免清洗对样品造成损伤，而且提高清洗效率，通过对工作距离、入射角度的

2023-06-02

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一种LED元件的清洗装置及清洗方法.pdf

本发明涉及电子元件生产领域，具体涉及一种LED元件的清洗装置及清洗方法。一种LED元件的清洗装置，包括润湿组件和擦拭组件，润湿组件和擦拭组件并排布置，润湿组件对工件的端面进行润湿，擦拭组件对工件进行擦干和清理；所述的润湿组件包括第三安装座、水槽、第三气缸、连接杆和接液槽条；所述的擦拭组件包括第四安装座、第五电机、第一齿轮、摩擦轮、第二齿轮、电机座和安装槽；采用了上述技术方案的一种LED元件的清洗装置，清洗装置通过设置接液槽条接取定量的清洗液，防止清洗时污染LED元件其他部件，通过挤压的海绵，能够不断吸干和

2023-08-29

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一种光学元件表面高频振动共形加工装置和方法.pdf

本发明是一种光学元件表面高频振动共形加工装置和方法，该方法基于精密气缸、龙门架、高速马达、精密变频器、凸轮、摆臂、磨头和旋转台等部件，实现具有基底层、柔性层和抛光层的抛光磨头以一定压力紧贴工件表面做高频振动抛光。本发明高频振动共形抛光方法采用全口径共形覆盖式抛光，不受待加工工件表面特征的限制，能够对各种异形光学表面进行抛光，实现对待加工表面的高速材料去除，抛光效率较常规方法提高10-50倍，同时对工件表面中高频误差具有平滑作用，适应于轴对称的中小口径平面、球面、非球面元件、异形元件的快速抛光和中高频误差抑

2023-10-15

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一种球面光学元件表面缺陷测量装置和测量方法.pdf

本发明提出了一种球面光学元件表面缺陷测量装置和测量方法，利用照明反射光和表面缺陷产生的散射光的偏振特性的差异，去除照明反射光对表面缺陷暗场成像的影响，在准直照明条件下，即可实现不同曲率半径光学元件表面缺陷检测，无需因球面光学元件的曲率改变而调整照明光源，也不需要复杂的光学设计来实现不同程度聚焦照明光。结合抛光液等污染性缺陷的光致发光效应，实现对球面光学元件表面残留的抛光液等缺陷的原位同步检测。提出了一种结合位置探测器的原位反射式球面定心光路结构，球面光学元件无需在定心系统和测量系统之间移动，避免了运动定位

2023-11-10

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同步辐射光源光束线光学元件碳污染原位清洗研究.docx

同步辐射光源光束线光学元件碳污染原位清洗研究引言随着同步辐射光源在各个领域的广泛应用，对光束线的稳定性、光学性能和精度要求越来越高，同时在长期的实验使用过程中，光束线内积累的碳污染问题也日益突出，严重影响到实验的稳定性和准确性。在这种情况下，对光束线光学元件的碳污染原位清洗研究显得尤为重要。本文将针对这一问题，提出一种新型的原位清洗方法，通过对光束线的光学元件进行分析和研究，探索在保证光学性能和精度的前提下，对光学元件进行原位清洗的可行性和有效性。一、理论基础1.碳污染的危害碳污染是指当光束线与周围环境接

2024-11-02

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