防刮伤晶圆盒.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112053981A(43)申请公布日2020.12.08(21)申请号202010983203.2(22)申请日2020.09.17(71)申请人泉芯集成电路制造(济南)有限公司地址250000山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室(72)发明人黄志平黄德昇赖正训曾圣翔(74)专利代理机构北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)11463代理人刘曾(51)Int.Cl.H01L21/673(2006.01)H01L21/677(2006.01)权利要求书1页说明书7页附图6页(54)发明名称防刮伤晶圆盒(57)摘要本发明的实施例提供了一种防刮伤晶圆盒，涉及半导体设备技术领域，该防刮伤晶圆盒包括盒体、至少一组晶圆支撑架和至少一个光感测装置，盒体具有一供机械手臂伸入的开口；晶圆支撑架设置在盒体的侧壁上，且晶圆支撑架用于承载晶圆；光感测装置设置在盒体的侧壁上，其中，光感测装置用于在晶圆上方形成光帘，并在光帘受阻的情况下报警。当机械手臂高度异常时，会与光帘发生干涉，使得光帘受阻，而光感测装置能够在光帘受阻时报警，使得操作人员及时获知机械手臂高度异常情况并停机，有效避免了机械手臂刮伤晶圆，同时也避免了目视法视野不足而造成误判的情况。CN112053981ACN112053981A权利要求书1/1页1.一种防刮伤晶圆盒，其特征在于，包括：盒体，所述盒体具有一供机械手臂伸入的开口；设置在所述盒体的侧壁上的晶圆支撑架，所述晶圆支撑架用于承载晶圆；以及，设置在所述盒体的侧壁上，并与所述晶圆支撑架相对应的光感测装置；其中，所述光感测装置用于在所述晶圆上方形成光帘，并在所述光帘受阻的情况下输出示警信息。2.根据权利要求1所述的防刮伤晶圆盒，其特征在于，所述光感测装置包括红外发射组件和红外接收组件，所述红外发射组件和所述红外接收组件分别设置在所述盒体上相对的侧壁上，所述红外发射组件出射的红外线信号由对侧的所述红外接收组件接收，以在所述红外发射组件和所述红外接收组件之间形成所述光帘。3.根据权利要求2所述的防刮伤晶圆盒，其特征在于，所述红外发射组件包括发射横架和多个红外发射器，所述发射横架设置在所述盒体的侧壁上，多个所述红外发射器间隔设置在所述发射横架上；所述红外接收组件包括接收横架和多个红外接收器，所述接收横架设置在所述盒体的侧壁上并与所述发射横架相对应，多个所述红外接收器间隔设置在所述接收横架上，并与多个所述红外发射器一一对应。4.根据权利要求3所述的防刮伤晶圆盒，其特征在于，所述光感测装置还包括报警器，所述报警器设置在所述接收横架上，并同时与多个所述红外接收器电连接，用于在至少一个所述红外接收器接收所述红外线受阻时报警。5.根据权利要求4所述的防刮伤晶圆盒，其特征在于，所述报警器包括报警灯和/或报警扬声器。6.根据权利要求1所述的防刮伤晶圆盒，其特征在于，所述盒体的侧壁上还设置有安装轨道，所述光感测装置设置在所述安装轨道上，并能够沿所述安装轨道移动，以调节所述光帘的位置。7.根据权利要求6所述的防刮伤晶圆盒，其特征在于，所述安装轨道上活动设置有驱动件，所述驱动件与所述光感测装置连接，用于带动所述光感测装置沿所述安装轨道移动。8.根据权利要求7所述的防刮伤晶圆盒，其特征在于，所述驱动件具有一输出轴，所述输出轴上设置有驱动齿轮，所述安装轨道上还设置有传动齿条，所述驱动齿轮与所述传动齿条相啮合。9.根据权利要求1所述的防刮伤晶圆盒，其特征在于，每组所述晶圆支撑架包括第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板和所述第二支撑板相对且间隔设置在所述盒体的侧壁上，且所述第一支撑板的上侧表面和所述第二支撑板的上侧表面共同形成用于承载所述晶圆的承载面，所述光帘与所述承载面相平行。10.根据权利要求1所述的防刮伤晶圆盒，其特征在于，所述开口的边缘还设置有检测装置，所述检测装置与所述光感测装置电连接，用于在检测到所述机械手臂伸入所述开口的情况下生成启动信号，所述光感测装置还用于在获取所述启动信号的情况下形成所述光帘。2CN112053981A说明书1/7页防刮伤晶圆盒技术领域[0001]本发明涉及半导体设备技术领域，具体而言，涉及一种防刮伤晶圆盒。背景技术[0002]晶圆盒为放置晶圆之专用载具，产品生产时由生产设备上的机械手臂伸入晶圆盒里抓取晶圆，机械手臂零件会因长期使用而磨损，造成抓取或放置晶圆时手臂倾斜而刮伤晶圆。[0003]现有技术中，针对机械手臂容易刮伤晶圆，通常是采用目视法来校正机械手臂的高度，而由于晶圆盒为不透明的容器，机械手臂伸入晶圆盒检查抓取高度与状态时无法得到很好的视野，容易产生误差，导致检查后仍会发生晶圆刮伤问题，且因目视法无法量化，每个人检查的标准无法一致，