晶圆盒、晶圆搬运设备、晶圆搬运控制方法、电气设备及存储介质.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114975195A(43)申请公布日2022.08.30(21)申请号202210355328.X(22)申请日2022.04.06(71)申请人深圳市深科达智能装备股份有限公司地址518000广东省深圳市宝安区福永街道征程二路2号A栋、B栋第一至三层、C栋第一层、D栋(72)发明人张原杨青峰潘国瑞崔智敏(74)专利代理机构广州德科知识产权代理有限公司44381专利代理师孙丽丽万振雄(51)Int.Cl.H01L21/673(2006.01)H01L21/677(2006.01)权利要求书5页说明书20页附图6页(54)发明名称晶圆盒、晶圆搬运设备、晶圆搬运控制方法、电气设备及存储介质(57)摘要本申请实施例公开一种晶圆盒、晶圆搬运设备、晶圆搬运控制方法、电气设备及存储介质。所述晶圆盒包括相对设置的两个承载件和光源，两个所述承载件围成位于两个所述承载件之间的容纳空间和位于所述容纳空间一侧的取放口，所述容纳空间用于收纳多片平行于第一基准面的晶圆，所述光源设置在所述容纳空间远离所述取放口的一侧，用于朝向所述容纳空间发光，能够达到对晶圆精准对位、搬运与自动化操作的目的。CN114975195ACN114975195A权利要求书1/5页1.一种晶圆盒，其特征在于，所述晶圆盒包括：相对设置的两个承载件，两个所述承载件围成位于两个所述承载件之间的容纳空间和位于所述容纳空间一侧的取放口，所述容纳空间用于收纳多片平行于第一基准面的晶圆；以及光源，设置在所述容纳空间远离所述取放口的一侧，用于朝向所述容纳空间发光。2.如权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，所述光源为面光源，包括朝向所述容纳空间的发光面，所述发光面与所述取放口相对设置。3.如权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，所述承载件包括基板以及连接所述基板靠近所述容纳空间的一侧的多个承载板，多个所述承载板沿第一预设方向间隔设置，两个所述承载件的多个所述承载板一一相对设置，相对设置的两个所述承载板组成具有承载位的承载组件，且用于分别承载所述晶圆的两端。4.如权利要求3所述的晶圆盒，其特征在于，所述晶圆盒还包括压力传感器、计数模块及通信模块，所述压力传感器设置在所述承载板承载所述晶圆的一侧，且电连接所述计数模块及所述通信模块，所述通信模块电连接控制模组，所述计数模块还用于显示计数结果。5.一种晶圆搬运设备，其特征在于，所述晶圆搬运设备包括：如权利要求1‑4项任意一项所述的晶圆盒；搬运模组，用于自所述取放口获取或放置所述晶圆；视觉感测模组，用于在所述光源朝向所述容纳空间发光时，在所述取放口一侧拍摄所述容纳空间并输出第一拍摄图像；以及控制模组，电连接所述搬运模组和所述视觉感测模组，用于接收并依据所述第一拍摄图像控制所述搬运模组的进行对位，并在完成所述对位后控制所述搬运模组进行所述晶圆的获取或放置。6.如权利要求5所述的晶圆搬运设备，其特征在于，所述搬运模组包括电连接所述控制模组的移动组件及连接所述移动组件的晶圆载具，所述移动组件用于在所述控制模组的控制下驱动所述晶圆载具运动，所述视觉感测模组设置于所述晶圆载具上。7.如权利要求6所述的晶圆搬运设备，其特征在于，所述移动组件包括基座、设置在所述基座上的可沿第二预设方向伸缩的第一移动关节、一端与所述第一移动关节转动连接的第一旋转臂、一端与所述第一旋转臂的另一端转动连接的第二旋转臂、与所述第二旋转臂的另一端转动连接的所述晶圆载具。8.如权利要求7所述的晶圆搬运设备，其特征在于，所述晶圆载具包括连接基体以及搬运部，所述连接基体沿所述第二预设方向设置在所述移动组件上，所述搬运部连接于所述连接基体的一侧；所述视觉感测模组沿所述第二预设方向设置在连接基体远离所述移动组件的一侧，且所述视觉感测模组用于朝向所述搬运部所在的一侧进行拍摄。9.如权利要求8所述的晶圆搬运设备，其特征在于，所述视觉感测模组包括设置在所述连接基体上的相机安装板、设置在所述相机安装板上的第一工业相机以及安装在所述第一工业相机上的第一镜头。10.如权利要求8所述的晶圆搬运设备，其特征在于，所述晶圆搬运设备还包括晶圆感测器，所述晶圆感测器设置于所述搬运部靠近所述晶圆一侧的表面且位于所述搬运部远离所述连接基体的一端，所述晶圆感测器电连接所述控制模组，用于感测所述晶圆并输出第2CN114975195A权利要求书2/5页二感测信号至所述控制模组，使得所述控制模组对所述搬运模组搬运的所述晶圆进行计数和/或取放监控。11.如权利要求10所述的晶圆搬运设备，其特征在于，所述搬运部包括两个手臂部，两个所述手臂部均连接于所述连接基体且围成具有开口的U型，所述开口朝向远离所述连接基体的一侧，所述晶圆感测器设置在所述手臂部远离所述连接基体的一端；两个所述手